软X射线透射光栅制作技术  

The fabrication techniques for soft X-ray transmission gratings

作　　者：徐向东[1] 洪义麟[1] 霍同林[1] 朱向冰[1] 周红军[1] 陶晓明[1] 傅绍军[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥230029

出　　处：《光学技术》2001年第4期294-296,共3页Optical Technique

摘　　要：金透射光栅广泛用于真空紫外、X射线、物质波的衍射和光谱测量。分别介绍了美国麻省理工学院空间微结构实验室和中国科学技术大学国家同步辐射实验室的透射光栅制作技术及其新进展。麻省理工学院空间微结构实验室为完成 AXAF巨型空间天文台上的高能透射光栅谱仪经历了近 2 0年的发展 ,其光栅制作工艺日趋成熟 ,代表了当前世界最高水平。中国科学技术大学国家同步辐射实验室为了满足惯性约束核聚变实验研究的需要 ,在国内较早地开展了透射光栅的研制工作 。Gold transmission gratings are very useful for applications in VUV, X ray, matter wave diffraction and spectroscopy The techniques used to fabricate submicrometer period transmission gratings at MIT and NSRL are described respectively MIT's work was motivated primarily by the need to manufacture large quantities of 200nm and 400nm period gold transmission gratings for the High Energy Transmission Gratings Spectroscopy (HETG) on the Advanced X ray Astrophysics Facility (AXAF, recently renamed CHANDRA) NSRL's one to fabricate submicro period self supporting transmission gratings is for inertial confinement fusion (ICF) Progress in this area tends to focus on improving the yield and flexibility of the fabrication procedures

关 键 词：透射光栅 X射线光刻 全息光刻 光刻胶 

分 类 号：TH741.6[机械工程—光学工程] TH744.15[机械工程—仪器科学与技术]