声表面波压力传感器

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SAW压力传感器声传播方向特性研究
《传感器与微系统》2023年第11期27-30,共4页李旺旺 薛卫彪 屈珉敏 
山西省基础研究计划青年项目(202203021212191);山西省高等学校科技创新项目(2021L413)。
针对高温恶劣环境下对压力参数的测量需求,结合目前氮化铝(AlN)和蓝宝石(sapphire)等耐高温材料,构建了一种叉指换能器(IDT)/AlN/Sapphire结构的声表面波(SAW)传感器模型,并采用有限元法(FEM)分析SAW在c轴取向AlN薄膜上分别沿a方向(〈11...
关键词：声表面波压力传感器 有限元法 声传播方向 声速 机电耦合系数 压力灵敏度 
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