湿法氧化

作品数：124被引量：451H指数：13
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垂直腔面发射半导体激光器氧化优化研究被引量：1
《中国激光》2024年第8期16-22,共7页陈中标 崔碧峰 郑翔瑞 杨春鹏 闫博昭 王晴 高欣雨 
国家自然科学基金(60908012,61575008,61775007);北京市自然科学基金(4172011)。
GaAs基垂直腔面发射激光器在干法刻蚀过程中,台面侧壁形成的缺陷会导致器件出现层结构分层、断裂以及氧化孔不规则等问题。针对该问题,提出了一种干法刻蚀与硫化铵钝化相结合的氧化前预处理方案,研究了硫化铵钝化处理对器件层结构以及...
关键词：激光器 垂直腔面发射激光器 氧化孔 湿法氧化 钝化 干法刻蚀 
椭圆氧化孔径垂直腔面发射激光器的偏振特性
《中国激光》2024年第6期57-66,共10页谢中华 渠红伟 周旭彦 张建心 隋佳桐 孟凡胜 宫凯 郑妹茵 王海玲 王宇飞 齐爱谊 
山东省重点研发计划(2022CXGC02104);山东省重点研究开发计划(2023ZLYS03);广东省重点领域研究开发项目(2020B090922003)。
为了改善用于铷原子钟的795 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)的偏振稳定性,研究了不同氧化孔径和椭圆度对VCSEL偏振性能的影响。利用COMSOL Multiphysics的波动光学频域模块模拟了不同氧化孔径对有源区谐振光强的影响。结果表明,当氧化孔径...
关键词：激光器 垂直腔面发射激光器 氧化孔径 湿法氧化 正交偏振抑制比 窄线宽 
基于VCSEL的湿法氧化工艺的温度依赖性研究被引量：4
《中国激光》2020年第7期275-280,共6页陈磊 罗妍 冯源 晏长岭 范杰 高欣 邹永刚 郝永芹 
国家自然科学基金(11474038);吉林省科技发展计划(20200401073GX)。
湿法氧化工艺是垂直腔面发射激光器(VCSEL)制备过程中极为关键的技术,但目前氧化工艺的稳定性和可控性仍有待完善。针对氧化过程中的核心因素——氧化温度进行深入研究,通过设置对照实验,探究了氧化温度对氧化速率及氧化孔形状的作用规...
关键词：激光器 半导体激光器 垂直腔面发射激光器 湿法氧化 氧化温度 氧化孔 
垂直腔面发射激光器的湿法氧化速率规律被引量：4
《中国激光》2009年第4期790-793,共4页侯立峰 钟景昌 赵英杰 郝永芹 冯源 谢浩锐 姜晓光 
国家自然科学基金(60306004)资助项目
为实现垂直腔面发射激光器(VCSEL)氧化孔径的精确控制,对垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的氧化速率规律进行了实验研究。在不同的温度下对垂直腔面发射激光器样品进行湿法氧化,氧化后采用扫描电镜(SEM)对氧化层不同氧化深度处生成物组...
关键词：激光技术 垂直腔面发射激光器 湿法氧化 扫描电镜微区分析 氧化速率 
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