数字掩模

作品数：7被引量：6H指数：2
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用于衍射微光学元件制备的无掩模光刻技术被引量：2
《微纳电子技术》2006年第7期351-354,共4页陈劲松 
安徽省教育厅自然科学基金项目(2006KJ050B)
提出了一种新的基于数字微镜的无掩模光刻技术,将以往的模拟掩模发展为数字掩模,为大规模、快速、灵活制作衍射微光学元件开辟了一条新的道路;重点研究了数字掩模技术的实现原理,并进行了验证。
关键词：数字微镜 数字掩模 衍射光学元件 空间光调制器 
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