数字掩模

作品数：7被引量：6H指数：2
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数字掩模投影光刻的极限分辨率研究被引量：3
《量子电子学报》2019年第3期354-359,共6页刘玉环 赵圆圆 董贤子 郑美玲 段宣明 赵震声 
科技部国家重点研发纳米科技重点专项,2016YFA0200501~~
研究了一种基于数字微镜器件(DMD)的数字掩模投影光刻(DMPL)技术,以400 nm飞秒激光作为光源,结合高缩放比投影系统,来缩小光刻胶与光子束的反应区域,通过调控不同DMD像素投影光场强度分布,将投影光刻的线宽分辨率推进至亚微米尺度,实现...
关键词：激光技术 仪器数字掩模投影光刻 数字微镜器件 跨尺度 飞秒激光 分辨率 
基于DMD数字掩模的光引发表面ATRP制备聚乙二醇聚合物刷微图案被引量：1
《高分子材料科学与工程》2018年第9期148-155,共8页赵海利 马玉录 马康 刘嵩 谢林生 沙金 
国家自然科学基金青年基金资助项目(51503065)
以基于数字微镜器件(DMD)的数字掩模技术为基础,以三(2-苯基吡啶)合铱(Ir(ppy)3)为光氧化还原催化剂,以低聚(乙二醇)甲基丙烯酸酯为单体,通过光引发表面原子转移自由基聚合(ATRP)在硅片表面实现了复杂图案形状聚乙二醇(PEG)聚合物刷微...
关键词：数字微镜器件 数字掩模 光引发表面原子转移自由基聚合 聚乙二醇聚合物刷微图案 
数字掩模灰度细分技术研究
《激光与红外》2011年第5期569-572,共4页陈劲松 
数字掩模技术是一种很有发展前途的衍射微光学元件制作技术。实际制作时,由于感光材料具有感光非线性,实际可利用的灰度数目将小于256。即使256级灰度全部可用,也无法实现曝光量的精细控制以达到一般的加工要求。文中提出了2种灰度细分...
关键词：数字掩模 空间光调制器 灰度细分 
步进投影数字光刻技术研究
《中国仪器仪表》2008年第12期48-50,共3页徐文祥 王建 赵立新 严伟 
随着微纳加工技术的不断发展,其对光刻技术提出了新的要求,步进投影数字光刻技术作为光刻技术的重要分支,在光刻发展的过程中,扮演着不可替代的角色。主要介绍步进投影数字光刻技术的原理及组成,详细阐述关键技术单元,如数字掩模投影成...
关键词：数字掩模 数字光刻 DMD 同轴调焦 
数字掩模制作控制系统误差特性研究
《液晶与显示》2007年第5期607-610,共4页陈劲松 
安徽省教育厅自然科学基金项目(No.2006KJ050B)
数字化掩模制作系统的核心控制部件是数字微镜。文中系统分析了数字微镜控制系统对数字化掩模制作系统精度的影响。指出误差来源主要为数字微镜帧刷新率、像素黑栅效应、像素量化和调制非线性等因素,并分别提出了相应的误差修正或补偿...
关键词：数字微镜 衍射光学元件 掩模 误差分析 
用于衍射微光学元件制备的无掩模光刻技术被引量：2
《微纳电子技术》2006年第7期351-354,共4页陈劲松 
安徽省教育厅自然科学基金项目(2006KJ050B)
提出了一种新的基于数字微镜的无掩模光刻技术,将以往的模拟掩模发展为数字掩模,为大规模、快速、灵活制作衍射微光学元件开辟了一条新的道路;重点研究了数字掩模技术的实现原理,并进行了验证。
关键词：数字微镜 数字掩模 衍射光学元件 空间光调制器 
数字掩模技术被引量：2
《液晶与显示》2006年第6期700-703,共4页陈劲松 
安徽省教育厅自然科学基金项目(No.2006KJ050B)
数字掩模技术的核心器件是数字微镜芯片,它具有较高的分辨率和灰度等级等优点。利用计算机辅助设计绘制的掩模图形经IO口输入到数字微镜芯片中的SRAM,从而控制无数多个微小镜片的翻转,实现掩模图形的数字化输出。结合高倍精缩投影系统,...
关键词：数字微镜 数字掩模 衍射光学元件 空间光调制器 
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