徐文祥

作品数：8被引量：11H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：光刻机投影光刻机掩模光束动镜更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《光学学报》《现代电子技术》《电子工业专用设备》《中国仪器仪表》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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光刻对准中干涉条纹相位解析研究被引量：1
《光学学报》2012年第2期116-121,共6页徐锋 胡松 周绍林 徐文祥 
国家863计划(2009AA03Z341);国家自然基金(60976077;60906049;61076100)资助课题
针对光刻对准中双光栅产生的具有多频率的干涉条纹,提出了一种基于二维解析小波变换进行条纹分析的方法。该方法首先通过二维小波变换的多尺度对条纹的多频率进行分析,并通过解析小波基函数将条纹的幅度与相位进行分离,最终通过二维小...
关键词：测量 相位解析 二维解析小波变换 二维小波脊 封闭条纹 
干涉空间相位光刻对准方法研究
《微纳电子技术》2010年第10期634-637,642,共5页马平 胡松 周绍林 徐文祥 
国家自然科学基金资助项目(60706005)
介绍了一种适合高分辨力接近/接触式光刻的新型纳米级光刻对准方法。简要阐述了该对准方法的基本原理,探讨了应用该对准方法的光学结构设计,提出了照明光路与干涉条纹捕获光路的垂直设计,采用单色非曝光光源远心照明方式并外加补偿光路...
关键词：干涉空间相位对准 莫尔条纹 补偿光路 CCD细分 曲线拟合 
4500W超高压汞灯光源控制系统研究
《电子工业专用设备》2010年第4期21-23,42,共4页马平 胡志成 胡松 徐文祥 
西部之光"计划项目"用于平板显示器制造的反射式大面积照明系统研制
简要介绍了用于超大面积光刻设备汞灯光源控制系统的总体控制方案,重点阐述了该控制系统信号放大电路、灯室温度采样放大电路及信号反馈控制方法。
关键词：超高压汞灯 信号放大 温度采样 信号反馈 
莫尔条纹分析及其在光刻对准中的应用被引量：2
《光电工程》2010年第7期102-106,共5页马平 周绍林 胡松 徐文祥 
国家自然科学基金项目(60706005)
从莫尔条纹用于光刻对准的实际应用出发,从傅里叶光学的角度重点讨论了一般光栅及线光栅对莫尔条纹的调制规律,并对广泛应用的低频(1,-1)级莫尔条纹进行了仿真分析。最后通过仿真分析说明,在光刻对准中,对栅线重复频率相差很小的两光栅...
关键词：莫尔条纹 光栅 调制规律 光刻对准 
大功率汞灯电源测控系统研究被引量：2
《电子设计工程》2010年第11期88-91,共4页马平 胡志成 胡松 徐文祥 
"西部之光"计划资助项目(2060299)
为确保大功率汞灯曝光系统能够稳定、安全可靠地运行,设计了一套较为完善的汞灯电源测控系统。采用适合强电磁干扰环境下的磁平衡电压电流传感器及相应信号处理电路;选用基于铂热电阻传感器Pt100的三线制恒电流激励温度信号检测线路;采...
关键词：大功率汞灯 高压隔离 功率补偿 HCNR200 
步进投影数字光刻技术研究
《中国仪器仪表》2008年第12期48-50,共3页徐文祥 王建 赵立新 严伟 
随着微纳加工技术的不断发展,其对光刻技术提出了新的要求,步进投影数字光刻技术作为光刻技术的重要分支,在光刻发展的过程中,扮演着不可替代的角色。主要介绍步进投影数字光刻技术的原理及组成,详细阐述关键技术单元,如数字掩模投影成...
关键词：数字掩模 数字光刻 DMD 同轴调焦 
基于CH365的PCI通信卡的设计被引量：6
《现代电子技术》2006年第2期118-120,共3页徐文祥 罗正全 
简要介绍了在数据传输过程中上位机与下位机接口通信卡的设计,对CH365的外围电路设计、PCI电器性能、PCB电器特性、CH365的电器性能等做了透彻的介绍,并对CH365的硬件中断功能、应用软件设计做了简要叙述,该设计在我所开发的共聚焦生物...
关键词：CH365 PCI总线 通信接口卡 数据采集 数据传输 
生物芯片扫描仪控制系统总体设计
《电子工业专用设备》2003年第5期59-61,共3页徐文祥 罗正全 
简要介绍了生物芯片扫描仪控制系统的总体设计,并对其中关键技术单元,如荧光信号的探测预处理技术、系统零位的精确定位、工件台高速扫描控制技术等进行了详细的阐述。该控制系统及其关键技术单元经应用于我所新研制的激光共聚焦生物芯...
关键词：生物芯片 滤光片 变密度盘 快门 光电倍增管 
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