数字光刻

作品数：29被引量：53H指数：4
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相关期刊：《南昌航空大学学报（自然科学版）》《激光与光电子学进展》《光机电信息》《仪表技术与传感器》更多>>
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一种数字光刻系统软硬件控制方案设计
《科技与创新》2024年第2期178-180,共3页王岩磊 
分析了数字光刻系统的控制需求,设计了一套适用于基于DMD(Digital Micromirror Device,数字微镜器件)的数字光刻系统的软硬件控制方案。该控制方案分为上位机和下位机2个部分。上位机为PC机,提供人机交互界面;下位机为树莓派,负责控制...
关键词：数字光刻 DMD QT TCP 
应用于数字光刻机的DMD数据处理及控制系统
《现代信息科技》2023年第18期129-132,共4页陈海巍 
无掩膜数字光刻机已在PCB光刻及半导体光刻领域逐渐开始应用,相比传统掩膜式光刻机,可缩减光刻流程,节省光刻成本,使光刻数据在线实时调整变得更为简单。而DMD(数字微镜器件)目前作为数字光刻机常用的一种SLM(空间光调制)图形发生器,对...
关键词：DMD 数字光刻 扫描 数据处理 控制 
改进灰狼算法提高数字光刻图像质量的研究
《长春理工大学学报（自然科学版）》2022年第6期59-66,共8页杨成 刘红 王英志 胡俊 
吉林省科技发展计划项目(20200401116GX,20200602005ZP);吉林省教育厅“十三五”科学技术研究项目(JJKH20200774KJ)。
图像失真问题是数字光刻系统中很重要的问题,为了优化数字光刻图形质量提出了一种改进的灰狼优化算法(FGWO)。采用图形保真度作为适应度函数,掩模图案中的像素被用作灰狼个体,然后以狼群团体合作狩猎机制使掩模图形得到优化。对两种不...
关键词：图像失真问题 掩模优化 改进灰狼优化算法 
基于数字微镜器件的无光罩技术应用
《集成电路应用》2022年第10期20-22,共3页薛瑞 
阐述数字微镜技术,基于数字微镜器件的光刻机特性,包括降低掩模成本、减小曝光关键尺寸CD,探讨基于数字微镜器件的光刻机技术应用。
关键词：数字微镜器件 掩模板 数字光刻 屏幕编号 
数字微镜阵列微立体光刻系统光路仿真与应用被引量：1
《烟台大学学报（自然科学与工程版）》2022年第3期351-356,共6页武传祥 蔡树向 杨文广 
国家自然科学基金资助项目(61803323);山东省自然科学基金资助项目(ZR2019BF049)。
提出了一种基于数字微镜阵列的微立体光刻系统,并在COMSOL Multiphysics软件中进行了系统光路的建模与仿真。在分析微立体光刻系统的技术原理与组成元件基础上,建立了微立体光刻系统的完整光路仿真模型。最后,搭建了一套基于数字微镜阵...
关键词：数字光刻 微纳制造 光路设计 数字微镜阵列 
基于深度学习的数字光刻自动检焦方法被引量：3
《光子学报》2022年第6期253-265,共13页杨聚圃 杜佳林 李凡星 谌庆荣 王思沫 严伟 
四川省科技计划项目(Nos.2020JDJQ0007,2021JDRC0089);中科院关键技术团队项目(No.YA20K023);中科院科研仪器设备研制项目(No.YJKYYQ20210041)。
目前基于数字微镜器件的无掩膜光刻系统离不开高精度的检焦系统,单独设计的检焦系统不仅会增加全系统结构的复杂度,还会增加装调的难度。因此提出一种基于深度学习的检焦方法,通过调节光路使曝光焦面和相机成像焦面重合,仅根据当前所成...
关键词：数字光刻 自动检焦 深度学习 图像处理 
基于数字微镜器件的无掩模数字光刻技术研究进展被引量：3
《激光与光电子学进展》2022年第11期141-150,共10页谢芳琳 王雷 黄胜洲 
安徽省自然科学基金(2008085QE258,1808085QA12,1808085ME117);安徽省自然科学重点研究项目(KJ2019A0156);安徽工程大学增材制造研究项目(2020ybxm08);安徽工程大学人才引进科研基金(2018YQQ027)。
无掩模光刻技术具有无需物理掩模、成本低、适合大批量生产的优点,在微结构制作中得到了广泛应用。基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字光刻技术具有分辨率高、灵活性好、加工精度高等优势,成为近年来数字光刻领域的研究热点。综述了DMD...
关键词：光学设计 无掩模 数字微镜器件 扫描光刻技术 步进式光刻技术 灰阶光刻技术 
基于DMD的数字光刻定焦变倍投影系统设计被引量：3
《长春理工大学学报（自然科学版）》2019年第2期52-56,共5页唐志方 牟达 杨旭 陈炳旭 高佳旭 
北京市科技创新引导基金专项(Z171100002317016)
随着数字光刻技术的快速发展,基于数字微镜器件(DMD)的光刻技术受到微纳加工及相关行业人员的广泛关注。为实现基于0.9WQXGA型DMD的数字光刻,同时为避免投影系统与照明系统存在重叠空间,为满足数字光刻时不同幅面尺寸和精度的需求,设计...
关键词：DMD 数字光刻技术 光学设计 投影系统 
基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器被引量：1
《仪表技术与传感器》2018年第12期14-18,24,共6页冷寒冰 袁伟 崔建国 崔祺铭 
国家科技支撑计划项目(2015BA101B14);重庆理工大学高等教研研究项目(2015YB27)
相比于传统的流量传感器,微型流量传感器具有体积小、功耗低、对微小流量测量灵敏度高等特点。文中依据传热学原理设计并研制了一种基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器系统,用于微流体的流量测量。文中利用数字光刻投影系统(DLPS)...
关键词：微型流量传感器 ITO导电玻璃 聚二甲基硅氧烷 数字光刻投影系统 
阵列式数字光刻3D打印技术的设计与实现被引量：1
《数码世界》2018年第11期5-6,共2页尤晓萍 王巧兰 
福建省中青年教师教育科研项目《提高面成型3D打印机的加工尺寸和精度的方法研究》(JAT160649);厦门大学嘉庚学院校级科研孵化项目《基于DMD的3D打印关键技术研究》(2015L06)的阶段性研究成果
介绍数字光处理(Digital light processing,DLP)技术在3D打印中的应用,分析影响该技术打印精度的几个主要因素,研究阵列式数字光刻技术的方法,用于提升打印分辨率,并实现其控制系统,讨论该技术在应用中需要注意的主要问题,通过实验数据...
关键词：3D打印技术 数字光刻 阵列式拼接 
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