段宣明

作品数：33被引量：105H指数：6
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供职机构：中国科学院理化技术研究所更多>>
发文主题：激光双光子飞秒激光光刻胶打印头更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《中国科技成果》《量子电子学报》《长春理工大学学报（自然科学版）》《影像科学与光化学》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院“百人计划”国际科技合作与交流专项项目更多>>
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数字掩模投影光刻的极限分辨率研究被引量：3
《量子电子学报》2019年第3期354-359,共6页刘玉环 赵圆圆 董贤子 郑美玲 段宣明 赵震声 
科技部国家重点研发纳米科技重点专项,2016YFA0200501~~
研究了一种基于数字微镜器件(DMD)的数字掩模投影光刻(DMPL)技术,以400 nm飞秒激光作为光源,结合高缩放比投影系统,来缩小光刻胶与光子束的反应区域,通过调控不同DMD像素投影光场强度分布,将投影光刻的线宽分辨率推进至亚微米尺度,实现...
关键词：激光技术 仪器数字掩模投影光刻 数字微镜器件 跨尺度 飞秒激光 分辨率 
飞秒激光光镊直写银微纳结构被引量：14
《中国激光》2018年第4期178-183,共6页陈忠贇 方淦 曹良成 付芸 曹洪忠 姜肇国 段宣明 
国家自然科学基金(61405196);中国科学院"西部之光"人才培养计划
利用800nm飞秒激光光镊捕获了水中分散的银纳米颗粒,在玻璃基片表面直写银线,通过调控激光参数研究了激光功率对银线线宽及表面形貌的影响,实现了线宽为378nm的银线直写。经过测试,直写的银线电阻率为固体银的19.88倍。此外,还利用该方...
关键词：激光技术 激光直写 光镊 飞秒激光 银微纳结构 
双光子光聚合与功能微纳结构制备被引量：4
《影像科学与光化学》2017年第4期413-428,共16页郑美玲 金峰 董贤子 赵圆圆 赵震声 段宣明 
国家自然科学基金项目(91323301;91123032;61475164);国家重点基础研究发展规划973项目(2010CB934103);国家重点研发计划项目(2016YFA0200501;2016YFC1100502)
随着纳米光电子学及生物医学组织工程领域的发展,器件的小型化、结构多样化及高度集成化,给微纳结构与器件制造领域带来了新的挑战。本文围绕飞秒激光双光子聚合技术,简要综述了双光子光聚合基本原理与双光子引发剂分子的研究进展,并对...
关键词：飞秒激光 双光子光聚合 引发剂 功能微纳结构 
径向偏振光对微纳尺度聚合物结构纵向分辨率的改善被引量：3
《量子电子学报》2017年第1期76-80,共5页林乐 郑美玲 董贤子 金峰 张永亮 赵震声 段宣明 
国家自然科学基金,91323301,61275171,91123032,61275048,61205194;科技部国家纳米重大研究计划,2010CB934100~~
研究了径向偏振型飞秒脉冲激光并将其引入基于双光子吸收理论的微纳加工系统,得到了更高纵向分辨率、更低长径比的二维微纳尺度聚合物结构。对聚焦光场内光强分布的理论模拟表明:径向偏振型飞秒脉冲激光在提高纵向分辨率的同时会在一定...
关键词：非线性光学 纵向分辨率 双光子加工 径向偏振 微纳聚合物结构 
飞秒激光微纳3D打印新进展——首次实现微尺度光波段3D Luneburg透镜被引量：2
《物理》2016年第11期729-731,共3页赵圆圆 郑美玲 段宣明 
国家重点研发计划纳米科技重点专项(批准号:2016YFA0200500);国家重点基础研究发展计划(批准号:2010CB934100);国家自然科学基金(批准号:91323301;61275171;61475164)资助项目
梯度折射率光学（gradient-index optics）是光学领域近年来蓬勃发展的研究分支之一,其研究的对象是非均匀折射率介质中的光学现象[1]。发生于非均匀介质中的光学现象在自然界是一种普遍存在的客观物理现象。早在公元100年,人们就己观...
关键词：折射率分布 飞秒激光 Luneburg 光学领域 光波段 光学现象 梯度折射率 微尺度 物理现象 神泉 
AlSi10Mg铝合金选区激光熔化热行为的数值研究被引量：11
《热加工工艺》2016年第20期53-57,共5页胡红伟 丁雪萍 段宣明 李永亮 
中国科学院重点研究项目(KGZD-EW-T04);重庆重点应用与发展项目(cstc2013yykf C00006)
利用ANSYS有限元分析软件建立了选区激光熔化(SLM)的单层多道的三维温度场有限元模型,针对AlSi10Mg铝合金材料进行模拟,研究了扫描速度对AlSi10Mg铝合金选区激光熔化热行为的影响。结果表明:随扫描时间的增加,由于前一扫描道对后一扫描...
关键词：选区激光熔化 AL Si10Mg 温度场 热行为 数值模拟 
双波长选区激光熔化成形中F-theta镜头光学设计被引量：1
《长春理工大学学报（自然科学版）》2016年第4期25-28,45,共5页冯联华 张宁 曹洪忠 徐熙平 段宣明 
中国科学院重点部署项目(KGZD-EW-T04)
在选区激光熔化成形设备中,F-theta镜头是其重要的组成单元,一般采用单一波长作为光源。为了改善选区激光熔化成形性能,首次设计了由三片球面透镜组成的用于共轴双波长选区激光熔化成形的f-theta镜头。通过引入负畸变实现线性扫描,并选...
关键词：F-theta镜头 双波长 选区激光熔化成形 光学设计 
正交试验优选TC4钛合金粉体放电等离子烧结工艺被引量：6
《机械工程材料》2016年第7期39-42,113,共5页邵泽宁 史国权 魏文猴 段宣明 沈俊 
通过正交试验方法研究了放电等离子烧结制备TC4钛合金烧结体工艺中温度、压力和保温时间对其相对密度、硬度和显微组织的影响规律,根据烧结体相对密度和硬度优化了烧结工艺参数。结果表明:温度是影响烧结体性能和显微组织的关键因素,压...
关键词：放电等离子烧结 正交试验 烧结温度 显微组织 
水热法生长方式对ZnO纳米棒阵列结构和性能的影响被引量：2
《影像科学与光化学》2015年第2期136-143,共8页张美林 金峰 郑美玲 刘洁 段宣明 
国家重点基础研究发展规划973项目(2010CB934103);国家自然科学基金项目(91123032;61205194;51003113);中国科学院与日本学术振兴会共同研究项目(GJHZ1411)资助
本文系统地比较了三种方式制备的ZnO纳米棒阵列的结构和性能的异同。根据水热法生长液中碱来源的不同,ZnO纳米棒阵列的生长方式分为三种:N方式(氨水)、H方式(六次甲基四胺)和NH方式(两次N方式和一次H方式)。通过扫描电子显微镜,对这三...
关键词：ZNO 水热法 纳米棒 ZNO纳米棒阵列 
双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构被引量：4
《影像科学与光化学》2014年第6期542-549,共8页贾雁鹏 郑美玲 董贤子 赵震声 段宣明 
国家重点基础研究发展规划973项目(2010CB934103);国家自然科学基金项目(91123032;61205194;61275048;61275171);中国科学院与日本学术振兴会共同研究项目(GJHZ1411)资助
利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构。采用扫描电子显微镜(SEM)及选区电子能谱(EDS)对镀层进行了表征,当化学镀时间为15min时,所得到的镀层厚度约为130nm。对不同电镀时间下获得的镀层电阻率进行了测...
关键词：双光子微纳加工技术 化学镀 三维金属微纳米结构 
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