陶瓷膜片

作品数：8被引量：5H指数：2
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基于交流电桥的陶瓷基高温压力传感器设计与仿真被引量：2
《传感器与微系统》2022年第4期19-23,共5页贾鹏宇 熊继军 李晨 
中国航空发展集团产学研合作项目(HFZL2020CXY019);中国博士后科学基金资助项目(2019M661071)。
为解决高温环境下压力精准测量的难题,提出一种基于交流电桥的陶瓷基高温压力传感器。通过厚膜技术在陶瓷基底上集成交流电桥,敏感电容作为桥路元件随外界压力的变化而变化,而电桥将这种电容信号变化转变为电压信号变化输出,这种方法避...
关键词：高温压力传感器 敏感电容 交流电桥 Comsol分析 陶瓷膜片 
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