体效应器件

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非晶硅薄膜在电子学领域的应用
《世界电子元器件》1997年第5期58-60,共3页张蔷 
近年来,a-Si:H薄膜已引起人们很大的兴趣。这不仅是因为非晶态的固体理论问题需要研究,更主要的是因为非晶硅材料具有诱人的应用前景。 在七十年代以前,人们普遍采用真空蒸发法和溅射法来制备非晶硅薄膜。但当时制备的非晶硅薄膜的性质...
关键词：非晶硅薄膜 电子学 制备 体效应器件 二极管器件 
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