电化学刻蚀

作品数：72被引量：132H指数：6
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双向脉冲液膜法制备微细工具电极
《电加工与模具》2024年第5期31-37,共7页王丽 吴修娟 孔维静 曾永彬 
国家自然科学基金项目(52205473);江苏省工业感知及智能制造装备工程研究中心项目(ZK21-05-03)。
为实现高效制备微细工具电极,提出一种双向脉冲液膜电化学刻蚀技术,相较于单极性脉冲电源可明显提高加工效率,减小球头直径。实验研究了负脉冲电压、正脉冲电压和脉冲周期对氢气泡、电解产物的运动分布规律以及所制备工具电极形貌的影...
关键词：双向脉冲 电化学刻蚀 微细电极 负脉冲电压 
竖直液膜方法制备大长径比微细工具电极被引量：3
《电加工与模具》2019年第6期29-30,31-32,46,共5页桑雨萌 曾永彬 
国家自然科学基金资助项目(51775276)
利用COMSOL拟合进行电场仿真分析确定电流密度分布,通过实验研究了偏置量、电解液浓度和往复运动参数对所制备电极形貌的影响,从而制备微细工具电极。研究发现:在无偏置、0.2 mol/L的KOH条件下,采用竖直液膜电化学刻蚀方法可制备尺寸均...
关键词：微细电极 竖直液膜 电化学刻蚀 
液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的数学模型
《电加工与模具》2016年第A01期43-46,共4页吴修娟 王红军 曾永彬 房晓龙 
江苏省精密制造工程技术研究开发中心资助项目(ZK15-01-02);南京工业职业技术学院科研基金资助项目(YK15-01-02);中国博士后科学基金资助项目(2014M560420)
介绍了液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的原理及过程。根据钨棒刻蚀后的几何形状、电化学反应的基本原理及液体表面张力相关理论,建立了纳米电极制备的数学模型,为液膜电化学刻蚀法制备纳米电极奠定了理论基础。
关键词：液膜电化学刻蚀 纳米电极 纳米电解加工 数学模型 
铝基彩色超疏水表面制备被引量：3
《电加工与模具》2015年第5期35-37,共3页孙晶 周强 任元 许荣超 徐文骥 
先用电化学刻蚀在铝表面加工出超疏水性所需的微纳米粗糙结构,再通过直流阳极氧化在微纳米结构表面形成氧化层,并在高锰酸钾和硫酸的混合溶液中进行电解着色,最后通过氟硅烷修饰降低表面能后即可获得彩色的铝基超疏水表面。对样品表面...
关键词：彩色超疏水表面 电化学刻蚀 电解着色 
金属表面微坑阵列掩膜电化学刻蚀技术研究
《电加工与模具》2015年第2期29-32,37,共5页杜立群 位广彬 杨彤 陈胜利 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA040406);国家自然科学基金资助项目(51375077)
采用负胶光刻工艺制备了微坑阵列胶模,通过实验分析了抛光工艺对刻蚀均匀性的影响,解决了微坑阵列刻蚀缺陷的问题。研究了酸洗对基板刻蚀的影响,得出酸洗可改善刻蚀均匀性的结论,并通过调节溶液p H值的方法解决了溶液沉淀的问题。分析...
关键词：UV-LIGA 微坑阵列 电化学刻蚀 酸洗 
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