喷印技术

作品数：84被引量：100H指数：5
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鞘气辅助空气动力学透镜的干法气溶胶喷印装置设计
《微纳电子技术》2023年第4期615-625,共11页舒霞云 王策 常雪峰 周智 
国家自然科学基金面上项目(51975501);福建省自然科学基金项目(2022J011243)。
针对湿法气溶胶技术在喷印过程中由于需要提高喷印线条精度和使用有机溶剂而带来的诸多问题,设计了一种鞘气辅助空气动力学透镜的干法气溶胶喷印装置,实现金属纳米颗粒材料的聚焦和沉积。该装置以鞘气辅助空气动力学透镜作为聚焦模块、...
关键词：气溶胶喷印技术 鞘气辅助空气动力学透镜 金属纳米颗粒 辅助鞘气倾角 喷印线条形貌 
电流体动力学喷印电压控制模式及其应用现状被引量：4
《微纳电子技术》2016年第11期743-750,762,共9页张礼兵 左春柽 黄风立 吴婷 
浙江省自然科学基金重点项目(LZ14E050002);浙江省公益性技术应用研究计划项目(2015C31069);浙江省教育厅一般科研项目(Y201534088)
电流体动力学喷印技术是一种制备微纳米结构与器件的新型技术,该技术在多种功能器件的制备方面受到广泛关注。阐述了电流体动力学喷印技术的研究背景,通过分析得出电压控制问题是电流体动力学喷印技术中的一个重要问题。概述了目前电流...
关键词：电流体动力学 喷印技术 电压控制模式 微/纳图案化 微纳米制造 
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