硼扩散

作品数:43被引量:49H指数:4
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硅光电检测器
《有机硅氟资讯》2008年第7期28-28,共1页
本实用新型公开了一种硅光电检测器,硅光电检测器的N+层的下表面设置有N型欧姆接触层,非掺杂本征层上端设有绝缘层,绝缘层上设置有与P+型浓硼扩散层接触的P型欧姆接触层,绝缘层上具有一个入射光窗口,硼扩散区位于该入射窗口的下...
关键词:光电检测器  硼扩散 绝缘层 本征层 非掺杂 扩散层 实用新型 
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