硼扩散

作品数：43被引量：49H指数：4
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M5211-6-UM 型立式硼扩散设备研制
《有色设备》2023年第3期21-24,共4页吴志明 郭浩 赵志然 
M5211-6-UM型立式硼扩散炉用于晶体硅太阳能电池片硼扩散工艺,具有全自动化、高产能、低能耗、维护便捷等特点。本文介绍了该型号设备的结构组成及性能,给出了能耗和工艺结果,结果表明该设备各方面性能已达到国内领先水平,具备产业化条件。
关键词：硼扩散 石英舟 方阻均匀性 
基于BCl_(3)源的低压硼扩散设备及工艺研究被引量：8
《有色设备》2022年第2期18-22,27,共6页龙辉 赵志然 李明 郭良全 
湖南省创新型省份建设专项项目(2019TP2048)。
以BCl_(3)为掺杂源的低压硼扩散炉是N型TOPCon太阳能电池重要制造设备之一,其工艺过程具有气体输送控制难、工艺气体腐蚀性强、反应洁净度要求高、尾气高温等特点。针对这些特点本文通过优化气路系统、增加气路伴热,保证BCl_(3)精准稳定...
关键词：硼扩散 BCl_(3) 低压 方阻 黑边 
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