电路噪声

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MEMS石英振梁加速度计低噪声驱动系统构建研究
《导航与控制》2024年第3期13-19,96,共8页郑德智 许宁 王一霖 胡纯 
国家重点研发计划(编号:2021YFB3201502)。
驱动电路是石英振梁加速度计的重要组成部分,直接决定加速度计的性能。针对传统石英振梁驱动电路输出波形单一、噪声控制效果较差的问题,使用等效电路法对石英振梁进行理论和仿真分析,并使用阻抗分析仪测得了石英振梁的阻抗特性。以此...
关键词:惯性传感器 石英振梁 驱动电路 电路噪声 
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