平面微弹簧

作品数：16被引量：59H指数：5
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C型MEMS平面微弹簧弹性系数研究被引量：5
《压电与声光》2012年第3期470-472,共3页吴鹏飞 张国俊 钟志亲 戴丽萍 王姝娅 
设计了一种新型的C型微机电系统(MEMS)平面微弹簧,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧在3个方向(即x,y和z方向)上的弹性系数计算公式,用ANSYS进行有限元仿真,结果验证了公式推导的正确性。在公式计算和仿真的基础上,研究了...
关键词：微机电系统(MEMS) 平面微弹簧 弹性系数 有限元方法 
MEMS平面微弹簧刚度分析被引量：11
《压电与声光》2007年第2期237-239,共3页李华 石庚辰 
国防科技重点实验室基金资助项目(514850301)
对一种UV-LIGA工艺制备的封闭环“B型”微机电系统(MEMS)平面微弹簧建立了力学分析模型,运用能量法的卡氏第二定理,推导出了其在线性范围内的弹性常数计算公式。运用类似方法,推导出了开口“S型”MEMS平面微弹簧在线性范围内的弹性常数...
关键词：MEMS 平面微弹簧 卡氏第二定理 弹性常数 
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