热电偶

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相关机构：西安交通大学重庆仪表材料研究所中国科学院天津市中环温度仪表有限公司更多>>
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基于多节点阵列结构的高精度薄膜温度传感器研究
《机械工程学报》2024年第4期92-100,共9页田边 刘江江 张仲恺 刘兆钧 马荣 林启敬 蒋庄德 
国家重点研发计划资助项目(2019YFB2004501)。
针对液压系统中的智能感知需求,提出一种新型微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)薄膜温度传感器,其具有微小体积的同时兼具较高的测温精度,可实现液压元件及系统中油液温度信号的精确感知。开发出基于高分子聚合物-金属...
关键词：液压系统 薄膜热电偶 多节点结构 曲面成膜 性能研究 
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