热电偶

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曲面铜—康铜薄膜热电偶的研制及分度方法研究
《计量与测试技术》2024年第9期1-4,共4页关卫军 李水敏 路宗敏 张仲恺 田边 张金龙 
国家重点研发计划(项目名称:涡轮和燃烧室结构参数测试通用传感器研制,项目编号:2022YFB3207502)。
薄膜热电偶可实现对固体表面温度的准确测量。本文采用磁控溅射工艺制备曲面铜-铜镍合金(康铜)薄膜热电偶,通过对影响成膜质量的溅射参数进行分析,提出一种基于磁控溅射和退火工艺的制备方法,并进行实验验证。结果表明:该热电偶工作温...
关键词：薄膜热电偶 研制 最小二乘法 分度方法 
基于多节点阵列结构的高精度薄膜温度传感器研究
《机械工程学报》2024年第4期92-100,共9页田边 刘江江 张仲恺 刘兆钧 马荣 林启敬 蒋庄德 
国家重点研发计划资助项目(2019YFB2004501)。
针对液压系统中的智能感知需求,提出一种新型微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)薄膜温度传感器,其具有微小体积的同时兼具较高的测温精度,可实现液压元件及系统中油液温度信号的精确感知。开发出基于高分子聚合物-金属...
关键词：液压系统 薄膜热电偶 多节点结构 曲面成膜 性能研究 
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