自动套准

作品数：42被引量：48H指数：5
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相关领域：轻工技术与工程自动化与计算机技术更多>>
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聚焦离子束系统中图形发生及自动套准系统的研究
《电子学报》1998年第5期69-71,共3页张恝恕 杜秉初 陈华 周永健 
国家863高科技资助
本文描述了一种用于聚焦离子束系统的图形发生器和自动套准系统的研究和实现，并探讨了发展和改进的方向．该系统采用硬件实现扫描控制和坐标变换．在我们的实验条件下，实现了单场扫描2秒钟，套准计算4秒钟．该系统同样也适用于电子束...
关键词：聚焦离子束 图形发生 自动套准 电子束曝光机 
电子束曝光机自动套准系统的研究被引量：2
《电子学报》1995年第8期92-94,共3页王向东 杜秉初 葛璜 
863高技术项目
本文描述了用于电子束曝光机的芯片自动套准系统，该系统包括：扫描控制器、图象采集子系统、相关位置计算单元和位置与角度修正子系统。利用该系统，完成一次双标记识别及修正的循环需时１１秒；角度最小修正值为０．０１４度；最终实...
关键词：电子束曝光机 套准技术 
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