钛扩散

作品数：29被引量：41H指数：4
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相关作者：胡鸿璋陈才和崔宇明佘玄舒晓武更多>>
相关机构：天津大学天津领芯科技发展有限公司浙江大学中国电子科技集团公司第44研究所更多>>
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一种Z切钛扩散铌酸锂光波导图形的制备方法
《电子制作》2024年第15期110-113,共4页富松 曾建 张洪波 华勇 杨千泽 张征 
Z切铌酸锂晶体具有明显的热释电效应,该效应会影响在其表面光刻钛扩散波导图形的质量,进而影响波导的光参数。本文创新性提出一种Z切钛扩散铌酸锂光波导图形的制备方法,通过引入导电薄膜,有效地削弱了热释电效应的影响,进一步提升了Z切...
关键词：光波导 钛扩散 热释电效应 Z切铌酸锂 
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