钛扩散

作品数：29被引量：41H指数：4
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一种Z切钛扩散铌酸锂光波导图形的制备方法
《电子制作》2024年第15期110-113,共4页富松 曾建 张洪波 华勇 杨千泽 张征 
Z切铌酸锂晶体具有明显的热释电效应,该效应会影响在其表面光刻钛扩散波导图形的质量,进而影响波导的光参数。本文创新性提出一种Z切钛扩散铌酸锂光波导图形的制备方法,通过引入导电薄膜,有效地削弱了热释电效应的影响,进一步提升了Z切...
关键词：光波导 钛扩散 热释电效应 Z切铌酸锂 
基于铌酸锂的高阶可调谐布拉格波导光栅特性分析被引量：1
《激光与光电子学进展》2017年第6期61-67,共7页王钊 张爱玲 田红苗 李青青 
国家自然科学基金(61377075)
提出了一种可在铌酸锂上利用光刻及钛扩散方法实现高阶可调谐的布拉格波导光栅结构,并对其相关特性进行了分析。分析了占空比、光栅阶数、波导宽度差及外加电压对高阶布拉格波导光栅反射谱特性的影响。结果表明,折射率调制度、最大反射...
关键词：光栅 光通信 高阶可调谐布拉格波导光栅 光刻 钛扩散 铌酸锂 
晶片与光刻胶温度差对波导损耗的影响被引量：9
《光通信技术》2015年第12期8-11,共4页闫广拓 张爱玲 何培栋 孙钦芳 
国家自然科学基金(61377075)资助
研究了铌酸锂晶片与光刻胶之间的温度差对钛扩散铌酸锂波导传输损耗的影响。分别在高温度差和低温度差下制备了钛扩散铌酸锂波导,并对其进行了测量。对比实验结果表明,温度差相对较低时,可以得到较大的波导模场尺寸和较小的波导传输损...
关键词：钛扩散 铌酸锂波导 损耗 
近化学计量比Ti:PPLN平面光波导
《光通信技术》2013年第11期60-62,共3页张帅 顾超 牛德森 肖克楠 张远航 华平壤 
使用钛扩散的方法在Z切铌酸锂(LiNbO3)基片上制备平面光波导,并进行富锂气相输运平衡(VTE)处理,获得平面光波导。利用外加电场法对其周期极化,制备出近化学计量比钛扩散周期极化铌酸锂(Ti:PPLN)平面光波导。对近化学计量比Ti:PPLN平面...
关键词：钛扩散 气相输运平衡 铌酸锂 周期极化 光波导 
钛扩散LiNbO_3相位调制器尾纤偏振串音的白光干涉测量方法被引量：5
《中国激光》2013年第5期192-196,共5页李传生 张春熹 王夏霄 李立京 于佳 冯秀娟 
提出了一种基于白光干涉原理的钛扩散铌酸锂(LiNbO3)集成光学相位调制器尾纤偏振串音测量方法,分析了白光干涉仪输出干涉信号与集成光学芯片和保偏尾纤对轴角度、偏振器起偏角度之间的关系。仿真结果表明:白光干涉仪输出的干涉包络与相...
关键词：集成光学 LiNbO3相位调制器 钛扩散 白光干涉 偏振串音 
钛扩散铌酸锂脊形波导理论分析与初步制备被引量：6
《光学学报》2013年第2期196-202,共7页李金洋 要彦清 吴建杰 祁志美 
国家自然科学基金(61078039)资助课题
铌酸锂脊形波导最近引起了广泛研究兴趣,它通常采用刻蚀钛扩散或质子交换铌酸锂条形波导或平板波导的方法制作而成。对由这两种方法制备的钛扩散铌酸锂脊形波导在1550nm波长处的横电基模光场分布进行了仿真分析。结果指出,当钛扩散条件...
关键词：光学器件 铌酸锂 反应离子刻蚀 脊形波导 
集成光学电光调制干涉光谱仪的模式谱分析被引量：2
《光学技术》2012年第4期488-492,共5页刘瑞鹏 
国家自然科学基金资助项目(60978042;61078039)
基于钛扩散铌酸锂(Ti∶LiNbO3)波导的集成光学电光调制技术的干涉光谱仪是Ti∶LiNbO3调制器的一种崭新应用,一般应用的探测光谱区间是在波导的单模区间。为拓宽探测波长范围至多模传输范围,以x向切割,y向传输。以共面对称电极的Ti∶LiN...
关键词：光谱学 集成光学 电光调制系数 模式色散 钛扩散铌酸锂 有限差分法 
钛金属对掺镁铌酸锂晶体表面的刻蚀效果研究
《科学时代》2011年第8期115-116,共2页张培 
以掺镁铌酸锂（Mg：LiNbO3）晶体为基础，通过由Mg：LiNbO3、钛膜、Mg：LiNbO3组成的夹层结构（sandwich structure）在1050至1100℃的温度下，并且通湿氧的环境中进行退火，证明了Mg：LiNbO3晶体的表面刻蚀，并验证了刻蚀深度会受到初...
关键词：掺镁铌酸锂晶体 钛扩散 刻蚀 
钛扩散LiNbO_3晶体光波导长周期光栅被引量：1
《光通信技术》2010年第1期12-14,共3页谌贝 王琴 康田 
设计了一种钛扩散铌酸锂(LiNbO3)晶体光波导结构,并在该基础上制作了长周期光栅。使用两步钛扩散方法在Z切LiNbO3基片上制造了波导,它包括一个单模芯层和一个平面包层,之后用光刻胶光栅置于波导表面。实验证明用这种结构设计长周期波导...
关键词：铌酸锂 长周期光栅 光波导 钛扩散 
钢/铜/钛扩散复合界面显微组织和力学性能被引量：4
《大连交通大学学报》2009年第6期30-34,共5页于昕 刘德义 陈汝淑 刘世程 
辽宁省教育厅高等学校科学研究计划资助项目(2008104)
采用碳钢管作为基层、纯钛管作为覆层、纯铜箔作为中间层,利用拉拔-内压热扩散复合法,制备碳钢、铜、钛三金属管复合管.借助扫描电镜(SEM)观察了复合界面附近的显微组织并用能谱分析仪(EDS)测定了界面附近的元素分布.通过剪切和硬度试...
关键词：扩散复合 钢/铜界面 钛/铜界面 
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