要彦清

作品数：2被引量：9H指数：2
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：反应离子刻蚀光学器件铌酸锂氨氮光学式更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《光学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国科学院“百人计划”更多>>
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钛扩散铌酸锂脊形波导理论分析与初步制备被引量：6
《光学学报》2013年第2期196-202,共7页李金洋 要彦清 吴建杰 祁志美 
国家自然科学基金(61078039)资助课题
铌酸锂脊形波导最近引起了广泛研究兴趣,它通常采用刻蚀钛扩散或质子交换铌酸锂条形波导或平板波导的方法制作而成。对由这两种方法制备的钛扩散铌酸锂脊形波导在1550nm波长处的横电基模光场分布进行了仿真分析。结果指出,当钛扩散条件...
关键词：光学器件 铌酸锂 反应离子刻蚀 脊形波导 
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