铟基合金

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钪薄膜
《稀土信息》1997年第6期9-10,共2页邱巨峰 
最近研究表明铝、镓和铟基合金有可能可以用来做成新的电子器件和光电子器件,如场发射三极管(FET)
关键词：光电子器件 氮化镓薄膜 金属钪 铟基合金 过渡层 氮化钪 场发射 真空蒸发技术 可行性研究 沉积速率 
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