氮化镓薄膜

作品数：59被引量：138H指数：6
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热氧化对MOCVD外延GaN薄膜光学特性影响的实验研究
《光电子技术》2021年第4期303-307,共5页陈柯宇 咸冯林 徐林华 郑改革 匡文剑 裴世鑫 
江苏省自然科学基金青年基金(BK20180784)。
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在600℃下在蓝宝石衬底上外延生长了GaN薄膜,研究了热氧化温度对GaN薄膜的微观结构和光学特性的影响。实验表明600℃生长的GaN薄膜结晶质量较差,随着热氧化温度逐渐增加,GaN薄膜的结晶质量逐渐提高,...
关键词：氮化镓薄膜 金属有机化学气相沉积 热氧化 光学特性 
玻璃衬底上“异质外延”出准单晶氮化镓薄膜
《光学精密机械》2021年第3期31-31,共1页
中国科学院院士、北京大学/北京石墨烯研究院院长刘忠范与中科院半导体所研究员刘志强、北京大学物理学院研究员高鹏等合作,提出了一种纳米柱辅助的范德华外延方法,国际上首次在玻璃衬底上成功异质外延出连续平整的准单晶氮化薄膜,并制...
关键词：异质外延 中国科学院院士 氮化镓薄膜 玻璃衬底 准单晶 纳米柱 石墨烯 蓝光 
等离子体增强技术在镀铜玻璃衬底上低温制备GaN薄膜
《济南大学学报（自然科学版）》2020年第3期218-223,共6页李昱材 苏媛媛 赵琰 宋世巍 王健 王刚 唐坚 刘嘉欣 张东 
国家自然科学基金项目(51872036);辽宁省自然科学基金项目(20180510049);辽宁省科技厅博士启动基金项目(20170520241);辽宁省“兴辽英才计划”青年拔尖人才项目(XLYC1907138);辽宁省教育厅重点攻关项目(JL-1901)。
以三甲基镓(TMGa)和氮气(N2)分别作为镓和氮反应源,采用电子回旋共振等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术在镀铜玻璃衬底上沉积出氮化镓(GaN)薄膜,采用高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和光致...
关键词：氮化镓薄膜 等离子体增强技术 镀铜玻璃衬底 
柔性衬底上使用等离子增强原子层沉积制备的氮化镓薄膜物性分析
《半导体光电》2018年第6期819-823,827,共6页李美玲 何荧峰 卫会云 刘三姐 仇鹏 宋祎萌 安运来 彭铭曾 郑新和 
北京市自然科学基金项目(4173077;2184112)
采用等离子增强原子层沉积技术(PE-ALD)在350℃温度下,在KAPTON柔性衬底上直接生长出多晶GaN薄膜。利用低角度掠入射X射线衍射仪、AFM、SEM、TEM、XPS对薄膜的晶体结构、表面形貌及薄膜成分进行了表征和分析。结果表明,薄膜呈多晶态,且...
关键词：氮化镓 柔性衬底 等离子增强原子层沉积 反向扩散 
低温缓冲层对金刚石衬底上GaN的沉积作用
《中国粉体技术》2017年第6期78-81,共4页张东 赵琰 宋世巍 李昱材 王健 毕孝国 
国家自然科学基金项目;编号:51472047;辽宁省自然科学基金项目;编号:20170540664
采用电子回旋共振等离子体增强金属有机物化学气相沉积技术,以自支撑金刚石厚膜作为衬底,改变缓冲层参数条件,低温沉积氮化镓(Ga N)薄膜材料。实验结束之后,利用反射高能电子衍射、X射线衍射和原子力显微镜系统性对实验制备的薄膜样品...
关键词：ECR-PEMOCVD系统 氮化镓薄膜 自支撑金刚石厚膜 缓冲层温度 
电子回旋共振等离子体中TMG的离解氢对气相沉积氮化镓薄膜的影响被引量：1
《真空科学与技术学报》2017年第4期409-413,共5页符斯列 王春安 丁罗城 秦盈星 
国家自然科学基金项目(10575039);广东省自然科学基金项目(S2013010012548)资助
氢在GaN薄膜制备工艺中扮演很重要的角色,氢主要有两个来源,一是载气氢,另一个来源是从TMG气源本身离解出来的氢产物。本文研究了电子回旋共振-等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)沉积GaN薄膜工艺中从TMG离解出来的氢产物及其对薄膜...
关键词：ECR等离子体 氮化镓 三甲基镓 离解氢 
金属有机物化学气相沉积法制备的锰掺杂氮化镓薄膜的结构和光学性质被引量：2
《中国科技论文》2016年第22期2601-2605,共5页崔旭高 袁浩 沙文健 朱胜南 
国家自然科学基金资助项目(11104040);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20110071120014);江苏省科技支撑计划资助项目(BE2014123)
为研究锰价态对掺杂氮化镓薄膜的光学性质影响,采用金属有机物化学气相沉积技术在不同的温度下生长锰掺杂的氮化镓外延薄膜材料。采用原子力显微镜探测不同温度下生长的样品表面;X射线光谱仪探测样品中锰的化学价态;光致荧光谱仪测量不...
关键词：光学性质 金属有机物化学气相沉积 锰掺杂氮化镓 锰价态 
表面修饰和电场对氮化镓薄膜电学性质的调控机理研究
《科技资讯》2016年第5期23-25,共3页肖美霞 辛海涛 姚婷珍 
陕西省教育厅科研基金(项目编号:2013JK0894);西安石油大学博士科研启动基金(项目编号:2012BS004);西安石油大学"材料科学与工程"省级优势学科(项目编号:312010005)资助的课题
采用第一性原理模拟方法研究表面修饰和电场对氮化镓纳米薄膜电学性质的影响。对于表面镓原子和氮原子分别进行氢化、氟化或氯化得到的氮化镓纳米薄膜(A-Ga N-B),当层厚相同时,Cl-Ga N-H和Cl-Ga N-Cl薄膜的能隙较小,而H-Ga N-H和F-Ga N-...
关键词：氮化镓纳米薄膜 能隙 表面修饰 电场 第一性原理 
应变对两层半氢化氮化镓薄膜电磁学性质的调控机理研究被引量：1
《物理学报》2016年第2期70-75,共6页肖美霞 梁尤平 陈玉琴 刘萌 
陕西省教育厅科研基金(批准号:2013JK0894);国家级大学生创新创业训练计划项目(批准号:201510705230);西安石油大学博士科研启动基金(批准号:2012BS004);西安石油大学"材料科学与工程"省级优势学科(批准号:312010005)资助的课题~~
采用基于密度泛函理论的第一性原理模拟计算,研究了在应变作用下两层半氢化氮化镓纳米薄膜的电学和磁学性质.没有表面修饰的两层氮化镓纳米薄膜的原子结构为类石墨结构,并具有间接能隙.然而,当两层氮化镓纳米薄膜的一侧表面镓原子被氢化...
关键词：氮化镓纳米薄膜 表面修饰 应变 电磁学性质 
高分辨X射线衍射表征氮化镓外延层缺陷密度被引量：4
《无机材料学报》2015年第10期1094-1098,共5页崔潆心 徐明升 徐现刚 胡小波 
国家高技术研究发展计划863项目(2014AA032601);国家自然科学基金(51323002;61327808;51321091)~~
利用高分辨X射线衍射方法,分析了在4H-Si C(0001)面上采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长的Ga N薄膜的位错。采用对称面衍射和斜对称面衍射等方法研究了晶面倾转角、面内扭转角、晶粒尺寸和晶面弯曲半径等参数,通过排除仪器、晶粒...
关键词：氮化镓薄膜 高分辨X射线衍射 位错密度 
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