玻璃衬底

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溶胶-凝胶光学薄膜制备及界面粘接性能研究
《化学与粘合》2025年第1期44-48,105,共6页陈铁成 赵向阳 
为了提升光学薄膜的粘接应用效果,研究了溶胶-凝胶光学薄膜制备及界面粘接性能。使用溶胶-凝胶法以二水合乙酸锌为原料制备ZnO光学薄膜,制备薄膜时分别选取玻璃衬底、二氧化硅衬底、Al_(2)O_(3)衬底,从粘接强度与拉伸强度验证使用何种...
关键词：溶胶-凝胶 光学薄膜 界面粘接性 玻璃衬底 Al2O3衬底 钛酸丁酯 
Mg_(85)Ni_(15)减反层对玻璃衬底上VO_(2)薄膜光电性能的影响
《真空科学与技术学报》2024年第7期577-582,共6页王坤 王麒雯 刘初蕾 康朝阳 
国家自然科学基金项目(11405045)。
采用脉冲激光沉积技术,在非晶玻璃衬底上生长单斜晶相的二氧化钒(M-VO_(2))薄膜,并研究了Mg_(85)Ni_(15)减反层对M-VO_(2)薄膜性能的影响。实验结果表明:在非晶玻璃衬底上制备的M-VO_(2)薄膜具有单一取向且纯度较高,并具有良好的光电热...
关键词：脉冲激光沉积 VO_(2) 薄膜 Mg_(85)Ni_(15) 减反层 光电性能 
基于低温熔融技术的硅–玻璃异质材料键合工艺设计
《材料科学》2023年第6期503-510,共8页潘代强 吴正鹏 张云 
传统硅–玻璃为衬底晶圆的异质材料键合有阳极键合工艺,但是阳极键合需要高碱金属氧化物含量的玻璃晶圆,且工艺需要施加电场和高温加热,高温高压会引起较大键合残余应力,导致器件结构变化或性能衰减,对半导体器件应用有较大局限性。本...
关键词：硅–玻璃衬底 异质材料键合 低温键合 
基于玻璃衬底的三维电感器件的仿真与实现被引量：1
《固体电子学研究与进展》2021年第6期419-424,共6页王磊 惠科晴 薛恺 姜峰 于大全 
国家自然科学基金资助项目(61974121);江苏省专用集成电路设计重点实验室开放课题资助项目(2020KL0P011);江苏信息职业技术学院人才启动经费资助项目[10072020028(006)]。
为了实现射频电子系统中对高品质因数电感的迫切需求,首先基于玻璃衬底建立了三维电感的电磁仿真模型,并从槽深度、线宽、线间距、电感线圈内径和匝数等方面对电感的电感值及其品质因数Q进行了参数化的仿真研究。仿真结果表明,玻璃衬底...
关键词：集成电感 玻璃槽电感 玻璃通孔 光敏玻璃 深槽填充 
玻璃衬底上“异质外延”出准单晶氮化镓薄膜
《光学精密机械》2021年第3期31-31,共1页
中国科学院院士、北京大学/北京石墨烯研究院院长刘忠范与中科院半导体所研究员刘志强、北京大学物理学院研究员高鹏等合作,提出了一种纳米柱辅助的范德华外延方法,国际上首次在玻璃衬底上成功异质外延出连续平整的准单晶氮化薄膜,并制...
关键词：异质外延 中国科学院院士 氮化镓薄膜 玻璃衬底 准单晶 纳米柱 石墨烯 蓝光 
微量Al掺杂对溅射于玻璃衬底的SnO2薄膜结构及光学特性的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2021年第5期1513-1517,共5页李院院 张子怡 管佳豪 李莉 李姝丽 成桢 杨睿 张云哲 赵小侠 徐可为 
Xi’an Science and Technology Project(2019KJWL05)。
采用射频(RF)磁控溅射法在玻璃衬底上制备了低浓度Al掺杂(≤1mol%)的SnO2系列薄膜。通过X射线衍射、扫描电镜、紫外-红外光谱仪及光致发光(PL)实验,展现了薄膜的晶体结构及光学特性。结果表明:当Al浓度增加时,薄膜晶格常数c减小,表明Al...
关键词：SNO2薄膜 射频磁控溅射 晶体结构 光学特性 
专利
《建筑玻璃与工业玻璃》2021年第4期47-50,共4页
一种可透光太阳能玻璃及汽车天窗公开(公告)号:CN209447809U公开(公告)日:2019.09.27申请(专利权)人:汉能移动能源控股集团有限公司本实用新型属于太阳能玻璃技术领域,具体涉及一种可透光太阳能玻璃及汽车天窗。所述可透光的太阳能玻璃...
关键词：太阳能电池组件 太阳能玻璃 实用新型 板玻璃 玻璃衬底 背板 专利权 
等离子体增强技术在镀铜玻璃衬底上低温制备GaN薄膜
《济南大学学报（自然科学版）》2020年第3期218-223,共6页李昱材 苏媛媛 赵琰 宋世巍 王健 王刚 唐坚 刘嘉欣 张东 
国家自然科学基金项目(51872036);辽宁省自然科学基金项目(20180510049);辽宁省科技厅博士启动基金项目(20170520241);辽宁省“兴辽英才计划”青年拔尖人才项目(XLYC1907138);辽宁省教育厅重点攻关项目(JL-1901)。
以三甲基镓(TMGa)和氮气(N2)分别作为镓和氮反应源,采用电子回旋共振等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术在镀铜玻璃衬底上沉积出氮化镓(GaN)薄膜,采用高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和光致...
关键词：氮化镓薄膜 等离子体增强技术 镀铜玻璃衬底 
AgNWs-rGO复合透明导电薄膜的制备及其稳定性研究
《陶瓷学报》2020年第1期47-51,共5页张志秦 胡跃辉 张效华 王迪 王鹏飞 朱文均 高浩 
国家自然科学基金(6146005);江西省科技厅重点研发计划项目(20171BBE50053);江西省主要学科科学带头人项目(20123BCB22002)。
通过Hummer′s法制备了还原氧化石墨烯(rGO),将rGO包裹在银纳米线表面,通过旋涂法在PET/玻璃衬底上制备了AgNWs-rGO复合透明导电薄膜。利用XRD对薄膜的晶型进行了测定,发现制备的还原氧化石墨烯品质优良,薄膜结晶质量良好;通过SEM观察到...
关键词：还原氧化石墨烯 PET/玻璃衬底 稳定性 
基于玻璃的高性能电感的设计与实现被引量：3
《电子元件与材料》2019年第6期79-85,共7页郭燕慧 张国华 王剑峰 周秀峰 
电子基础产品预研资助项目(31513050102)
作为射频系统中的关键元件,电感的性能会影响整个系统的稳定性,传统的硅基电感由于较大的衬底损耗导致其Q值较低,无法满足射频系统的要求。因此为了提高电感性能,采用性能优良、损耗较低的玻璃作为衬底材料,首先提出了两种结构的电感,...
关键词：玻璃衬底 螺旋电感 玻璃通孔 高性能 结构优化 加工工艺 
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