ECR等离子体

作品数：58被引量：81H指数：5
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ECR离子源外电子注入技术研究
《原子核物理评论》2017年第2期164-169,共6页唐城 钱程 孙良亭 张雪珍 张子民 李中平 赵环昱 卢旺 赵红卫 
国家自然科学基金资助项目(11305228)~~
使用电子枪对ECR(Electron Cyclotron Resonance)等离子体注入外电子束是继铝衬弧腔、偏压盘之后,对等离子体电子的额外补充的又一种手段,通过向弧腔中注入一定能量与流强的电子束,以期提高引出束流的流强与电荷态。但由于该方法可控参...
关键词：ECR等离子体 电子枪 注入组件 磁约束 共振面 
电子回旋共振等离子体中TMG的离解氢对气相沉积氮化镓薄膜的影响被引量：1
《真空科学与技术学报》2017年第4期409-413,共5页符斯列 王春安 丁罗城 秦盈星 
国家自然科学基金项目(10575039);广东省自然科学基金项目(S2013010012548)资助
氢在GaN薄膜制备工艺中扮演很重要的角色,氢主要有两个来源,一是载气氢,另一个来源是从TMG气源本身离解出来的氢产物。本文研究了电子回旋共振-等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)沉积GaN薄膜工艺中从TMG离解出来的氢产物及其对薄膜...
关键词：ECR等离子体 氮化镓 三甲基镓 离解氢 
利用发射光谱研究ECR等离子体对钨的刻蚀
《北京工业大学学报》2015年第12期1901-1905,共5页王波 王荷军 张昀 王如志 张铭 
ITER专项项目(2013GB109003)
研究不同刻蚀条件下等离子体对钨表面的刻蚀变化,并对其原因进行分析有助于进一步了解其对钨的刻蚀机理,从而为如何提高钨材料的使用寿命提供一定的理论支撑.采用光纤光谱仪（Avaspec—ULS2048一USB2）检测在不同放电条件下电子回旋共振...
关键词：电子回旋共振 钨 发射光谱 等离子体 
ECR中和器束流引出实验研究被引量：5
《西北工业大学学报》2015年第3期395-400,共6页罗立涛 杨涓 金逸舟 冯冰冰 汤明杰 
国家自然科学基金(11475137)资助
在真空环境下,用采集板模拟离子作用将电子束从ECR中和器中引出,实验研究ECR中和器结构以及工作参数对引出电子束流和中和器性能的影响,从而确定最佳的ECR中和器结构和工作参数。实验结果表明:在最佳的ECR中和器结构组合条件下,气体流量...
关键词：氩气 偏置电压 实验设计 效率 电子束流 电子回旋共振 能量损耗 实验 流量 结构优化 等离子体 波长 ECR等离子体 中和器 
氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜的影响机理被引量：3
《强激光与粒子束》2014年第7期243-247,共5页潘鑫 马志斌 李国伟 曹为 王传新 付秋明 
国家自然科学基金项目(10875093)
采用电子回旋共振(ECR)等离子体在不同的磁场位形和工作气压下刻蚀化学气相沉积(CVD)金刚石膜,运用双探针和离子灵敏探针法对等离子体进行了诊断,研究了等离子体参数对刻蚀效果的影响。结果表明:磁场由发散场向收敛场转变时,离子温度、...
关键词：刻蚀 CVD金刚石 等离子体参数 ECR等离子体 
微波ECR等离子体装置的性能研究被引量：2
《真空与低温》2014年第3期170-174,共5页宋瑞海 张书锋 张明志 田虎林 李绍飞 
低轨道航天器的空间等离子体环境主要为低温、低密度、等离子体。文章详细叙述了等离子体对航天器的影响及其两个ECR微波等离子体校准装置的组成结构,并使用标准Langmuir探针对等离子体的参数进行实验测量和分析,得到了电子密度、电子...
关键词：低轨道航天器 环境模拟器 ECR等离子体 等离子体参数 
ECR等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究被引量：1
《金刚石与磨料磨具工程》2013年第1期23-25,30,共4页潘鑫 马志斌 吴俊 
国家自然科学基金资助项目(10875093)
在自主设计的具有非对称磁镜场位形的ECR等离子体装置上进行CVD金刚石膜的刻蚀实验,研究了基片温度、工作气压和磁场位形三个工艺参数对刻蚀效果的影响。实验结果表明:通过此方法刻蚀的CVD金刚石膜,其晶粒顶端被优先刻蚀,表面粗糙度降...
关键词：ECR等离子体 CVD金刚石膜 刻蚀 基片温度 工作气压 磁场位形 
圆筒电极对离子磁电加热的影响
《物理学报》2013年第1期245-250,共6页马志斌 沈武林 吴俊 严垒 汪建华 
国家自然科学基金(批准号:10875093)资助的课题~~
高效的磁电加热不仅能够提高电子回旋共振(ECR)等离子体的离子温度,还能改善离子的径向和轴向分布,促进ECR等离子体在化学气相沉积金刚石膜刻蚀中的应用.将磁电加热系统中的圆环电极改进为圆筒电极,研究了圆筒电极对离子磁电加热的影响...
关键词：ECR等离子体 磁电加热 离子温度 
电极环对离子加热温度的影响
《核聚变与等离子体物理》2012年第3期255-259,共5页沈武林 马志斌 谭必松 吴俊 汪建华 
国家自然科学基金资助项目(10875093)
在非对称磁镜场微波ECR等离子体中引入了磁电加热系统,研究了电极环大小、轴向位置以及双环加热对离子温度的影响。结果表明,大小合适的电极环能有效提高离子的加热温度,且最优电极环尺寸主要取决于离子回旋半径。电极环轴向位置的选择...
关键词：磁电加热 ECR等离子体 磁镜场 离子温度 
ECR等离子体的磁电加热研究被引量：7
《物理学报》2011年第10期478-482,共5页沈武林 马志斌 谭必松 吴俊 汪建华 
国家自然科学基金(批准号:10875093)资助的课题~~
在ECR等离子体装置上进行了磁电加热研究,利用离子灵敏探针(ISP)测量了磁电加热前后离子温度的变化,研究了电极环偏压、磁场强度、气压等参数对磁电加热过程以及加热效率的影响.结果表明:等离子体的整体加热是通过离子在电极环鞘层中的...
关键词：ECR等离子体 磁电加热 离子温度 
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