谭必松

作品数：7被引量：20H指数：3
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供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室更多>>
发文主题：ECR等离子体CVD金刚石膜离子温度刻蚀磁镜场更多>>
发文领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《核聚变与等离子体物理》《物理学报》《强激光与粒子束》《武汉工程大学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目更多>>
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电极环对离子加热温度的影响
《核聚变与等离子体物理》2012年第3期255-259,共5页沈武林 马志斌 谭必松 吴俊 汪建华 
国家自然科学基金资助项目(10875093)
在非对称磁镜场微波ECR等离子体中引入了磁电加热系统,研究了电极环大小、轴向位置以及双环加热对离子温度的影响。结果表明,大小合适的电极环能有效提高离子的加热温度,且最优电极环尺寸主要取决于离子回旋半径。电极环轴向位置的选择...
关键词：磁电加热 ECR等离子体 磁镜场 离子温度 
ECR等离子体的磁电加热研究被引量：7
《物理学报》2011年第10期478-482,共5页沈武林 马志斌 谭必松 吴俊 汪建华 
国家自然科学基金(批准号:10875093)资助的课题~~
在ECR等离子体装置上进行了磁电加热研究,利用离子灵敏探针(ISP)测量了磁电加热前后离子温度的变化,研究了电极环偏压、磁场强度、气压等参数对磁电加热过程以及加热效率的影响.结果表明:等离子体的整体加热是通过离子在电极环鞘层中的...
关键词：ECR等离子体 磁电加热 离子温度 
磁场位形对微波ECR等离子体电子参数的影响被引量：5
《武汉工程大学学报》2010年第9期53-57,共5页沈武林 马志斌 谭必松 
国家自然科学基金(10875093)
测量了两种磁场位形中微波ECR等离子体的电子参数,研究了磁场位形对电子参数空间分布的影响,结果表明:发散场中电子温度在轴心和腔体边缘较大,在过渡的中间区域较小,而磁镜场中电子温度随径向半径R的增大单调减小;电子密度在两种磁场位...
关键词：ECR等离子体 发散场 磁镜场 
非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜被引量：2
《强激光与粒子束》2010年第8期1887-1890,共4页谭必松 马志斌 沈武林 吴振辉 
国家自然科学基金项目(10875093)
分别应用郎缪尔双探针和离子灵敏探针对非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体的电子参数、空间分布和离子参数进行了测量,分析了气压对等离子体参数及空间分布的影响。利用该等离子体在优化的气压条件下对化学气相沉积金刚石膜进行了刻蚀...
关键词：非对称磁镜场 电子回旋共振 氧等离子体 刻蚀 化学气相沉积 
微波ECR氧等离子体参数测量被引量：2
《武汉工程大学学报》2009年第5期51-53,共3页谭必松 马志斌 吴振辉 
国家自然科学基金(10875093)
利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究,测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度,分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响.结果表明:a.随着气压的升高,等离子体密度先增大后减小,电子...
关键词：ECR等离子体 朗谬尔双探针 电子温度 等离子体密度 
氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜被引量：1
《武汉工程大学学报》2009年第1期65-68,共4页吴振辉 马志斌 谭必松 郑先锋 汪建华 
国家自然科学基金(10875093)
分别采用直流辉光、微波和电子回旋共振3种氧等离子体对CVD金刚石膜表面进行了刻蚀.利用扫描电子显微镜对三种等离子体刻蚀后金刚石膜表面的形貌进行了观察分析.通过对刻蚀后形貌差异的比较,探讨了它们各自的刻蚀机理,并从等离子体鞘层...
关键词：氧等离子体 CVD金刚石膜 刻蚀机理 
CVD金刚石膜的抛光研究进展被引量：5
《硬质合金》2008年第3期192-197,共6页吴振辉 马志斌 谭必松 张磊 吴利峰 
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目(2004419)
化学气相沉积的金刚石膜表面一般比较粗糙,需要经过抛光才能实现其具体的工业应用。本文介绍了各种抛光CVD金刚石膜的方法及近来研究进展,分析了各种技术的优缺点,并结合工业应用对CVD金刚石膜的抛光前景作了展望。
关键词：CVD 金刚石膜 抛光 
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