沈武林

作品数：7被引量：16H指数：3
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供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室更多>>
发文主题：ECR等离子体离子温度刻蚀化学气相金刚石膜更多>>
发文领域：理学化学工程更多>>
发文期刊：《核聚变与等离子体物理》《物理学报》《强激光与粒子束》《武汉工程大学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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CVD金刚石中的氮对等离子体刻蚀的影响被引量：4
《物理学报》2013年第7期262-268,共7页吴俊 马志斌 沈武林 严垒 潘鑫 汪建华 
国家自然科学基金(批准号:10875093)资助的课题~~
采用非对称磁镜场电子回旋共振等离子体分别对沉积过程中掺氮和未掺氮的化学气相沉积金刚石膜进行了刻蚀研究,结果表明:掺氮制备的金刚石膜的刻蚀主要集中在晶棱处,经过4h刻蚀后其表面粗糙度由刻蚀前的4.761μm下降至3.701μm,刻蚀对金...
关键词：掺氮 金刚石膜 刻蚀 非对称磁镜场 
圆筒电极对离子磁电加热的影响
《物理学报》2013年第1期245-250,共6页马志斌 沈武林 吴俊 严垒 汪建华 
国家自然科学基金(批准号:10875093)资助的课题~~
高效的磁电加热不仅能够提高电子回旋共振(ECR)等离子体的离子温度,还能改善离子的径向和轴向分布,促进ECR等离子体在化学气相沉积金刚石膜刻蚀中的应用.将磁电加热系统中的圆环电极改进为圆筒电极,研究了圆筒电极对离子磁电加热的影响...
关键词：ECR等离子体 磁电加热 离子温度 
氧回旋离子束刻蚀化学气相沉积金刚石膜被引量：2
《强激光与粒子束》2012年第10期2459-2463,共5页吴俊 马志斌 沈武林 
国家自然科学基金项目(10875093)
利用非对称磁镜场电子回旋共振等离子体产生的氧回旋离子束刻蚀了化学气相沉积金刚石膜,研究了工作气压和磁电加热电压对金刚石样品附近的离子温度和密度的影响,并分析了金刚石膜的刻蚀和机械抛光效果。结果表明:当工作气压为0.03Pa,磁...
关键词：离子灵敏探针 离子温度 金刚石膜 刻蚀 回旋离子束 
电极环对离子加热温度的影响
《核聚变与等离子体物理》2012年第3期255-259,共5页沈武林 马志斌 谭必松 吴俊 汪建华 
国家自然科学基金资助项目(10875093)
在非对称磁镜场微波ECR等离子体中引入了磁电加热系统,研究了电极环大小、轴向位置以及双环加热对离子温度的影响。结果表明,大小合适的电极环能有效提高离子的加热温度,且最优电极环尺寸主要取决于离子回旋半径。电极环轴向位置的选择...
关键词：磁电加热 ECR等离子体 磁镜场 离子温度 
ECR等离子体的磁电加热研究被引量：7
《物理学报》2011年第10期478-482,共5页沈武林 马志斌 谭必松 吴俊 汪建华 
国家自然科学基金(批准号:10875093)资助的课题~~
在ECR等离子体装置上进行了磁电加热研究,利用离子灵敏探针(ISP)测量了磁电加热前后离子温度的变化,研究了电极环偏压、磁场强度、气压等参数对磁电加热过程以及加热效率的影响.结果表明:等离子体的整体加热是通过离子在电极环鞘层中的...
关键词：ECR等离子体 磁电加热 离子温度 
磁场位形对微波ECR等离子体电子参数的影响被引量：5
《武汉工程大学学报》2010年第9期53-57,共5页沈武林 马志斌 谭必松 
国家自然科学基金(10875093)
测量了两种磁场位形中微波ECR等离子体的电子参数,研究了磁场位形对电子参数空间分布的影响,结果表明:发散场中电子温度在轴心和腔体边缘较大,在过渡的中间区域较小,而磁镜场中电子温度随径向半径R的增大单调减小;电子密度在两种磁场位...
关键词：ECR等离子体 发散场 磁镜场 
非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜被引量：2
《强激光与粒子束》2010年第8期1887-1890,共4页谭必松 马志斌 沈武林 吴振辉 
国家自然科学基金项目(10875093)
分别应用郎缪尔双探针和离子灵敏探针对非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体的电子参数、空间分布和离子参数进行了测量,分析了气压对等离子体参数及空间分布的影响。利用该等离子体在优化的气压条件下对化学气相沉积金刚石膜进行了刻蚀...
关键词：非对称磁镜场 电子回旋共振 氧等离子体 刻蚀 化学气相沉积 
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