郑先锋

作品数：2被引量：5H指数：1
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供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室更多>>
发文主题：刻蚀金刚石膜直流辉光CVD金刚石膜氧更多>>
发文领域：化学工程电子电信更多>>
发文期刊：《金刚石与磨料磨具工程》《武汉工程大学学报》更多>>
所获基金：湖北省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
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氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜被引量：1
《武汉工程大学学报》2009年第1期65-68,共4页吴振辉 马志斌 谭必松 郑先锋 汪建华 
国家自然科学基金(10875093)
分别采用直流辉光、微波和电子回旋共振3种氧等离子体对CVD金刚石膜表面进行了刻蚀.利用扫描电子显微镜对三种等离子体刻蚀后金刚石膜表面的形貌进行了观察分析.通过对刻蚀后形貌差异的比较,探讨了它们各自的刻蚀机理,并从等离子体鞘层...
关键词：氧等离子体 CVD金刚石膜 刻蚀机理 
直流辉光氧等离子体刻蚀金刚石膜的研究被引量：5
《金刚石与磨料磨具工程》2007年第1期35-38,43,共5页郑先锋 马志斌 张磊 王传新 满卫东 汪建华 
湖北省科技攻关计划(2002AA105A02)
在直流辉光放电等离子体装置上,利用不同直流功率和工作气压下产生的氧等离子体对CVD金刚石厚膜的表面进行了刻蚀。利用扫描电子显微镜、Raman光谱和电子微量分析天平,分别对刻蚀前后金刚石膜表面的形貌、结构和刻蚀速率进行了观测。结...
关键词：金刚石膜 刻蚀 直流辉光放电薄 氧离子体 
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