椭偏测量

作品数：65被引量：172H指数：6
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紫外薄膜光学常数的多层模型椭偏测量被引量：2
《光电工程》2015年第9期89-94,共6页吴慧利 唐义 白廷柱 蒋玉蓉 蒋静 
国家973计划(2013CB329202);工业技术基础项目(J312012B002)资助
研究了基于光谱式椭偏仪精确测量紫外弱吸收薄膜光学常数的可靠方法。以Hf O2和Si O2薄膜为研究对象,用光谱式椭偏仪测量了薄膜的多角度椭偏参数,采用逐点优化法,建立了多层模型。利用Cauchy-Urbach模型进行数据拟合,获得了Hf O2和Si O...
关键词：薄膜光学 弱吸收薄膜 光学常数 光谱式椭偏仪 
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