椭偏测量

作品数：65被引量：168H指数：6
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一种基于遗传算法的单弹光调制高速椭偏技术
《测试技术学报》2025年第2期155-163,共9页徐承雨 张瑞 薛鹏 郭浩杰 王赛飞 吕健宁 武振涛 王志斌 
国家自然科学基金资助项目(62105302)。
针对单弹光椭偏测量技术需锁相多个周期信号、无法快速获得样品光学椭偏参数和薄膜厚度等问题,提出一种基于弹光调制器(PEM)偏振调制和单调制周期遗传算法参数提取的高速单弹光调制椭偏测量方法,该方法的时间分辨率可达μs量级。为保证...
关键词：高速椭偏测量 弹光调制 遗传算法 图像拟合仿真 
超高速快轴旋转圆形弹光调制技术研究
《光子学报》2024年第3期123-132,共10页刘燕霖 张瑞 薛鹏 陈媛媛 王志斌 李孟委 
国家自然科学基金(No.62105302)。
针对目前广义椭偏测量速度受限问题,提出利用对称性更优的圆形弹光调制器代替机械旋转补偿器实现超高速测量。对弹光调制器内部受力进行理论研究,得到纯行波模式调制条件并利用COMSOL仿真验证。仿真结果表明,当弹光调制器处于纯行波调...
关键词：超高速椭偏测量 纯行波调制模式 阻尼弦振动模型 圆形弹光调制器 
基于弹光调制的椭偏测量驱动电路系统设计
《电子设计工程》2024年第4期32-36,42,共6页易进 张瑞 薛鹏 卜韩 王志斌 李孟委 
国家自然科学基金(62105302);山西省青年科学基金(20210302124269)。
随着椭偏测量技术的发展,对椭偏测量速度、测量范围有了更高的要求。针对传统的双旋转补偿器测量方法受限于机械限制,调制频率低的问题。采用弹光调制技术,利用调制器的快轴旋转取代传统的旋转补偿器,设计了一种基于LC谐振放大的双驱动...
关键词：椭偏测量 弹光快轴调制 FPGA 谐振驱动 
45°双驱动弹光调制高速椭偏测量方法
《激光杂志》2024年第1期65-69,共5页薛鹏 刘燕霖 谢大洋 张瑞 王志斌 
国家自然科学基金(No.62105302);山西省基础研究计划(No.20210302124269)。
为解决传统机械旋转补偿器型椭偏仪测量速度较慢问题,提出一种电驱动的双弹光调制的高速椭偏测量方法。通过理论分析并仿真研究45°双驱动弹光调制器工作在纯行波模式下的调制方式。结果发现,当双驱动弹光调制器工作在纯行波模式可实现...
关键词：厚度测量 光弹性 高速椭偏测量技术 弹光调制器 在线检测 Comsol有限元仿真 
金刚石压砧内单晶硅高压折射率的椭偏测量
《光子学报》2023年第11期171-181,共11页鲍晓艳 邓硕 吕海飞 黎敏 
国家自然科学基金(Nos.11974266,62075174)。
针对高压对顶砧入射角度受限、样品微小的特殊测量条件,设计原位椭偏测量系统,实现450~700 nm光谱范围的小角度椭偏测量。建立光学模型,获得2~9 GPa下单晶硅的折射率,发现单晶硅的折射率随压力增加而增大。与高压拉曼光谱的对比说明椭...
关键词：高压 椭偏 光学模型 折射率 单晶硅 
蓝宝石衬底损伤层厚度和折射率的椭偏测量被引量：1
《仪器仪表学报》2023年第7期37-43,共7页崔长彩 李慧慧 陈希 周志豪 胡中伟 
国家自然科学基金面上项目(52275531)资助。
为了定量测量蓝宝石衬底在化学机械抛光过程中产生的损伤层厚度d和折射率n,提出了一种光谱椭偏测量法。首先,测量蓝宝石衬底反射光谱(波长范围:250~1650 nm)偏振态的改变量(即振幅比和相位差);然后,通过光学建模和测量数据反演,获得损伤...
关键词：光谱椭偏 蓝宝石衬底 损伤层 厚度 折射率 
石英晶体椭偏测量中的穆勒矩阵模型被引量：2
《中国激光》2023年第14期118-124,共7页赵宇 张灵浩 曾爱军 黄惠杰 Sergey Avakaw 
上海市集成电路科技支撑专项(20501110600);上海市政府间科技合作计划(20500711300)。
石英晶体是一种重要的双折射材料,广泛应用于光学相关领域。石英晶体在宽光谱下的参数测量通常使用椭圆偏振法,但现有的椭偏测量仪器往往假定晶体的光轴与测量光路对准,从而引入测量误差,这一问题在紫外波段尤为显著。为此提出了一种采...
关键词：测量 椭偏技术 石英晶体 介电张量 相位延迟量 欧拉角 
第五届国际偏振与椭偏测量研讨会征文通知
《红外》2022年第10期F0004-F0004,共1页
第五届国际偏振与椭偏测量研讨会(PE2022)拟于2022年11月27日至29日在上海召开,由中国科学院上海技术物理研究所和复旦大学光电研究院联合主办。该研讨会是继2014年武汉首届、2016年南宁第二届、2018年深圳第三届、2020年北京第四届成...
关键词：学术活动 中国科学院 偏振光学 会议宗旨 椭偏测量 物性测量 学术平台 技术交流 
单波长中红外穆勒矩阵椭偏仪的设计、定标与测试被引量：5
《光学学报》2022年第18期95-102,共8页郑州 侯俊峰 
国家自然科学基金(11773040,11427901,11403047,11427803);中国科学院空间科学战略性先导科技专项(XDA15010800,XDA15320102);中国科学院仪器设备功能开发项目(116400CX03)。
随着科学家对探测精度的要求不断提高,探测设备的偏振精度愈显重要。如何精确测量元件及系统的偏振特性以优化并提高设备的偏振测量精度是一个关键问题。设计并建立了一套中红外穆勒矩阵椭偏仪,在12.32μm波长下,使用非线性拟合法和双...
关键词：测量 椭偏测量 中红外 穆勒矩阵 偏振测量 
计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究被引量：5
《计量学报》2022年第5期571-577,共7页黎雄威 李琪 纪峰 李适 李伟 黄鹭 施玉书 皮磊 
国家质量基础的共性技术研究与应用(2017YFF0204705)。
为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准计量...
关键词：计量学 计量型激光椭偏仪 椭偏测量 初始入射角 校准 微纳米薄膜 
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