蒋静

作品数：2被引量：4H指数：2
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供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室更多>>
发文主题：光学常数SEM薄膜光学离子束辅助沉积椭偏仪更多>>
发文领域：理学电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《光学技术》《光电工程》更多>>
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离子束辅助沉积二氧化铪薄膜紫外光学特性研究被引量：2
《光学技术》2015年第6期502-505,共4页唐义 蒋静 蒋玉蓉 吴慧利 
国家973计划项目(2013CB329202);工业技术基础项目(J312012B002)
利用离子束辅助沉积方法制备单层二氧化铪薄膜,对薄膜样品的折射率、吸收特性进行了研究。实验结果表明,薄膜特性与制备工艺参数有着密切的关系,沉积速率、烘烤温度、离子束流、氧气流量均对单层二氧化铪薄膜紫外光学特性有着不同程度...
关键词：二氧化铪薄膜 光学常数 离子束辅助沉积 SEM 
紫外薄膜光学常数的多层模型椭偏测量被引量：2
《光电工程》2015年第9期89-94,共6页吴慧利 唐义 白廷柱 蒋玉蓉 蒋静 
国家973计划(2013CB329202);工业技术基础项目(J312012B002)资助
研究了基于光谱式椭偏仪精确测量紫外弱吸收薄膜光学常数的可靠方法。以Hf O2和Si O2薄膜为研究对象,用光谱式椭偏仪测量了薄膜的多角度椭偏参数,采用逐点优化法,建立了多层模型。利用Cauchy-Urbach模型进行数据拟合,获得了Hf O2和Si O...
关键词：薄膜光学 弱吸收薄膜 光学常数 光谱式椭偏仪 
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