椭偏法

作品数：65被引量：156H指数：7
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多入射角椭偏法同时测量衬底光学常数和膜参数
《应用科学学报》1989年第3期201-206,共6页周庆初 徐乃欣 石声泰 
国家自然科学基金资助项目
本文首先讨论了多入射角椭偏法同时测量衬底光学常数和膜参数时结果的唯一性跟各未知参数间相关性的关系,从而提出了选择合适入射角的一般原则.计算了不同入射角下硅-二氧化硅体系和不锈钢钝化膜体系的椭偏参数△、(?)对n_2、k_2、n_f、...
关键词：椭偏法 衬底 光学常数 膜参数 
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