微波模块

作品数：35被引量：128H指数：7
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基于毛纽扣的垂直互连技术研究被引量：3
《信息技术与标准化》2021年第1期10-14,共5页张玉芹 李强 朱茗 杨帆 
基于毛纽扣独特的特性,对垂直互连技术展开研究,设计了一种基于毛纽扣的垂直互连结构,通过对毛纽扣绕制成型工艺的研究,完成毛纽扣垂直互连样品的制作,并对设计的三线型毛纽扣垂直互联结构模型进行三维仿真优化和分析。通过对比分析样...
关键词：垂直互连 毛纽扣 微波模块 三维集成 
微波模块氢效应研究综述
《信息技术与标准化》2018年第8期61-64,共4页沈彤茜 高金环 黄杰 彭浩 
氢引起微波芯片性能退化,降低沟道载流子的浓度,改变金属栅与半导体接触的肖特基势垒,密封腔内氢反应生成水,氢致裂纹,金属被氢化;通过优化芯片设计、优化工艺材料和增加除氢工序,可有效降低微波模块内部的氢含量。
关键词：氢效应 失效机理 除氢工序 
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