微电子机械

作品数：1189被引量：3328H指数：23
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梳齿式二维微纳传感器的物理设计被引量：1
《机械强度》2018年第4期857-862,共6页王澍沁 王弼陡 吕丹辉 杨维 孙海旋 
中国科学院装备研制项目(YZ201550);中国科学院重点部署项目(KFZD-SW-204);江苏省科技支撑计划项目(BE2014640)资助~~
在MEMS技术的基础上,设计了一种梳齿式二维微纳传感器的芯片结构。通过应用硅基力敏感结构,实现了将微弱不可测力学信号转换为可测电信号;建立有限元模型,分析计算了微力传感器的结构和电学特性,得到了力学信号与电学信号的对应关系;对...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 力传感器 二维 梳齿结构 物理设计 
征稿简则
《机械强度》2014年第5期834-834,共1页
《机械强度》是中国机械工程学会、郑州机械研究所主办的公开发行的学术与技术刊物。主要刊载机械、强度、振动及材料强度的研究与应用领域具有创新性、经济意义和实用价值的论文、综述或阶段性研究成果简报。其范围：机械结构强度、微...
关键词：征稿简则 中国机械工程学会 郑州机械研究所 微电子机械系统 机械结构强度 实验应力分析 机械强度 测试技术 
征稿简则
《机械强度》2014年第4期660-660,共1页
1《机械强度》是中国机械工程学会、郑州机械研究所主办的公开发行的学术与技术刊物。主要刊载机械、强度、振动及材料强度的研究与应用领域具有创新性、经济意义和实用价值的论文、综述或阶段性研究成果简报。其范围：机械结构强度、...
关键词：征稿简则 中国机械工程学会 郑州机械研究所 微电子机械系统 机械结构强度 实验应力分析 机械强度 测试技术 
征稿简则
《机械强度》2013年第6期883-883,共1页
1《机械强度》是中国机械工程学会、郑州机械研究所主办的公开发行的学术与技术刊物。主要刊载机械、强度、振动及材料强度的研究与应用领域具有创新性、经济意义和实用价值的论文、综述或阶段性研究成果简报。其范围：机械结构强度、...
关键词：征稿简则 中国机械工程学会 郑州机械研究所 微电子机械系统 机械结构强度 实验应力分析 机械强度 测试仪器 
征稿简则
《机械强度》2013年第3期F0002-F0002,共1页
1 《机械强度》是中国机械工程学会、郑州机械研究所主办的公开发行的学术与技术刊物。主要刊载机械、强度、振动及材料强度的研究与应用领域具有创新性、经济意义和实用价值的论文、综述或阶段性研究成果简报。其范围：机械结构强度、...
关键词：征稿简则 中国机械工程学会 郑州机械研究所 微电子机械系统 机械结构强度 实验应力分析 机械强度 测试技术 
征稿简则
《机械强度》2013年第2期F0002-F0002,共1页
1《机械强度》是中国机械工程学会、郑州机械研究所主办的公开发行的学术与技术刊物。主要刊载机械、强度、振动及材料强度的研究与应用领域具有创新性、经济意义和实用价值的论文、综述或阶段性研究成果简报。其范围：机械结构强度、...
关键词：征稿简则 中国机械工程学会 郑州机械研究所 微电子机械系统 机械结构强度 实验应力分析 机械强度 测试仪器 
征稿简则
《机械强度》2012年第6期F0002-F0002,共1页
1《机械强度》是中国机械工程学会、郑州机械研究所主办的公开发行的学术与技术刊物。主要刊载机械、强度、振动及材料强度的研究与应用领域具有创新性、经济意义和实用价值的论文、综述或阶段性研究成果简报。其范围：机械结构强度、...
关键词：征稿简则 中国机械工程学会 郑州机械研究所 微电子机械系统 机械结构强度 实验应力分析 机械强度 测试技术 
征稿简则
《机械强度》2012年第5期F0002-F0002,共1页
1《机械强度》是中国机械工程学会、郑州机械研究所主办的公开发行的学术与技术刊物。主要刊载机械、强度、振动及材料强度的研究与应用领域具有创新性、经济意义和实用价值的论文、综述或阶段性研究成果简报。其范围：机械结构强度、...
关键词：征稿简则 中国机械工程学会 郑州机械研究所 微电子机械系统 机械结构强度 实验应力分析 机械强度 测试技术 
征稿简则
《机械强度》2012年第4期F0002-F0002,共1页
1《机械强度》是中国机械工程学会、郑州机械研究所主办的公开发行的学术与技术刊物。主要刊载机械、强度、振动及材料强度的研究与应用领域具有创新性、经济意义和实用价值的论文、综述或阶段性研究成果简报。其范围：机械结构强度、...
关键词：征稿简则 中国机械工程学会 郑州机械研究所 微电子机械系统 机械结构强度 实验应力分析 机械强度 测试技术 
征稿简则
《机械强度》2012年第2期F0002-F0002,共1页
1 《机械强度》是中国机械工程学会、郑州机械研究所主办的公开发行的学术与技术刊物。主要刊载机械、强度、振动及材料强度的研究与应用领域具有创新性、经济意义和实用价值的论文、综述或阶段性研究成果简报。其范围：机械结构强度、...
关键词：征稿简则 中国机械工程学会 郑州机械研究所 微电子机械系统 机械结构强度 实验应力分析 机械强度 测试仪器 
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