微电子机械

作品数:1189被引量:3328H指数:23
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《微纳电子技术》
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作品数:4652被引量:7349H指数:21
曾用名:半导体情报
issn:1671-4776cn:13-1314/TN
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域:电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《机械强度》
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作品数:5914被引量:23585H指数:38
issn:1001-9669cn:41-1134/TH
主办单位:中国机械总院集团郑州机械研究所有限公司;中国机械工程学会
发文主题:有限元 有限元分析 可靠性 故障诊断 有限元法
发文领域:机械工程 理学 一般工业技术 金属学及工艺 交通运输工程
《半导体技术》
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作品数:8096被引量:10828H指数:22
issn:1003-353Xcn:13-1109/TN
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题:集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《电子科技文摘》
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作品数:10413被引量:38H指数:2
issn:1009-0851cn:11-4388/TN
主办单位:信息产业部电子科学技术情报研究所
发文主题:会议录 计算机工程 电视技术 电子技术应用 PROCEEDINGS
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术 经济管理
《传感器与微系统》
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作品数:9823被引量:32360H指数:36
曾用名:传感器技术
issn:2096-2436cn:23-1537/TN
主办单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
发文主题:无线传感器网络 传感器 系统设计 微机电系统 WSNS
发文领域:自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 电气工程 理学
《仪器仪表学报》
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作品数:15218被引量:83708H指数:68
issn:0254-3087cn:11-2179/TH
主办单位:中国仪器仪表学会
发文主题:传感器 故障诊断 神经网络 虚拟仪器 图像处理
发文领域:机械工程 自动化与计算机技术 电子电信 电气工程 一般工业技术
《电子工业专用设备》
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作品数:6615被引量:4738H指数:18
issn:1004-4507cn:62-1077/TN
主办单位:中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题:半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域:电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《传感技术学报》
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作品数:8609被引量:34701H指数:44
issn:1004-1699cn:32-1322/TN
主办单位:东南大学;中国微米纳米技术学会
发文主题:无线传感器网络 传感器 MEMS 传感技术 无线传感网络
发文领域:自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 理学 电气工程
《固体电子学研究与进展》
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作品数:3723被引量:4431H指数:13
issn:1000-3819cn:32-1110/TN
主办单位:南京电子器件研究所
发文主题:GAAS 砷化镓 硅 GAN 氮化镓
发文领域:电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 文化科学
《功能材料与器件学报》
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作品数:2301被引量:4644H指数:18
曾用名:科技通讯;科技通讯(上海)
issn:1007-4252cn:31-1708/TB
主办单位:中国材料研究学会;中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发文主题:英文 MEMS 性能研究 X TIO
发文领域:电子电信 一般工业技术 理学 电气工程 自动化与计算机技术
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