微动台

作品数：46被引量：156H指数：7
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步进扫描工作台气浮结构分析被引量：3
《电子工业专用设备》2003年第3期45-51,共7页李若庆 
着重分析了步进扫描工作台的气浮结构及原理,指出了气浮设计及控制中需要注意的一些问题。
关键词：步进扫描工作台 平均移动误差 移动标准误差 微动台 气浮导轨 气足 
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