微动台

作品数：46被引量：156H指数：7
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压电叠堆致动器在大刚度负载下位移损失因素分析
《压电与声光》2025年第1期129-134,共6页张段芹 杨闻涛 张敬航 陈瑶瑶 刘旭玲 
河南省重点研发与推广专项(242102220003);河南省交通运输厅科技计划项目(2023-5-3,2020J2)。
通过测量大刚度负载下压电叠堆微动台的位移输出特性,表明其输出位移明显小于商用压电叠堆说明书中的预期值,且随着压电叠堆上预压力的增大,其输出位移先增大后减小。经分析发现,在大刚度负载、低预压力下,压电叠堆与负载之间的机械接...
关键词：压电叠堆致动器 大刚度负载 位移损失 预压力 微动台 
压电超声微马达精密驱动的二维微动台被引量：12
《压电与声光》1999年第5期360-362,384,共4页董蜀湘 王树昕 邱海波 李龙土 
发展了一种采用压电超声微马达精密驱动控制的二维微动台及其控制电路。利用压电超声马达的低速、大扭矩、高分辨率特性，直接驱动微动台的微调旋钮，可获得很高的位移分辨率和大的驱动力。利用一个单片机控制系统，通过对超声马达驱动...
关键词：微动台 压电超声马达 精密控制 
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