微反射镜

作品数：52被引量：63H指数：4
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相关作者：吕金光梁静秋秦余欣陈维友董玮更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院吉林大学北京理工大学更多>>
相关期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《光学学报》《光电子信息快报》更多>>
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基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验
《清华大学学报（自然科学版）》2004年第8期1057-1060,共4页王子旸 徐永青 杨拥军 尤政 任大海 
国家重点实验室基金资助项目
基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点,在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微反射镜,其偏转角度可以通过驱动电压控制;对这种结构建立了理论模型,对吸合...
关键词：物理光学仪器 微光机电系统 微反射镜 激光 
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