微反射镜

作品数：52被引量：63H指数：4
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相关作者：吕金光梁静秋秦余欣陈维友董玮更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院吉林大学北京理工大学更多>>
相关期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《光学学报》《光电子信息快报》更多>>
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应用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺被引量：2
《功能材料与器件学报》2008年第2期336-340,共5页李加东 宣明 吴一辉 张平 王淑荣 刘永顺 
国家"863"计划资助项目(A类)(No.06593NQ070);中科院创新信息基地项目
研究了一种可用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺。分析了微小面积电镀时出现边缘效应的问题,提出了增加牺牲结构的方法提高沉积速率并降低电镀边缘效应。通过脉冲微电镀实验,讨论了电流对电镀边缘效应的影响,同时分析了影响镀层表面质量...
关键词：光亮镀镍 微反射镜 微电镀 边缘效应 
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