微反射镜

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三层多晶硅结构的挠曲式静电驱动MEMS微反射镜
《微纳电子技术》2023年第9期1436-1444,共9页吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 
国家自然科学基金(62104151);上海应用技术大学引进人才基金项目(YJ2021-59)。
将悬臂梁结构与平行平板型结构相结合,研发了一种挠曲式静电驱动微电子机械系统(MEMS)微反射镜。为了实现大扭转角度、小驱动电压的设计目标,通过仿真实验进行对比分析,确定了微反射镜的相关尺寸。采用低压化学气相沉积、光刻、反应离...
关键词：微机电系统(MEMS) 微反射镜 静电驱动 悬臂梁式 平行平板型 
基于静电驱动的平行平板型微反射镜的研制
《微纳电子技术》2023年第6期924-930,共7页吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 
国家自然科学基金(62104151);上海应用技术大学引进人才基金(YJ2021-59)。
设计了一种基于静电驱动的平行平板型微反射镜,主要由镜面、下电极、支柱和玻璃基板构成。通过有限元模拟分析得到的仿真结果表明,带孔结构的微镜模型模拟位移量是传统双横梁支撑结构微镜模型的1.5倍,确定了制备的微镜装置结构。在制备...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微反射镜 静电驱动 平行平板型 玻璃基板 
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