微反射镜

作品数：52被引量：63H指数：4
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相关作者：吕金光梁静秋秦余欣陈维友董玮更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院吉林大学北京理工大学更多>>
相关期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《光学学报》《光电子信息快报》更多>>
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光刻机自由照明用微反射镜阵列设计
《中国激光》2024年第22期43-50,共8页张敬巍 胡敬佩 孙梦婕 胡家豪 曾爱军 黄惠杰 
上海市集成电路科技专项支撑(220501110600)。
光源掩模联合优化是28 nm及以下节点浸没式光刻机提高光刻系统分辨率的关键技术,自由照明系统中的微反射镜阵列是确保该技术实现的核心部件。提出了一种单蛇形梁微反射镜结构,其省去了外部可动框架配置,仅在两个固定电极的驱动下即能实...
关键词：光刻机系统 自由照明系统 微反射镜阵列 单蛇形梁微反射镜 
激光阶梯刻蚀法制备45°微反射镜及垂直耦合研究被引量：3
《中国激光》2016年第11期20-25,共6页邓传鲁 宋志强 庞拂飞 王建辉 王廷云 
上海市教委创新重点项目(14ZZ093);上海市科技成果转化与产业化项目(16511104300)
提出了一种基于准分子激光制备45°微反射镜的新方法──激光阶梯刻蚀法,介绍了该方法的工艺流程。通过优化参数制备了微反射镜样品,详细分析了样品参数对微镜反射性能的影响。利用微反射镜样品进行垂直耦合实验,深入讨论了影响系统损...
关键词：激光技术 光波导 45°微反射镜 激光阶梯刻蚀法 垂直耦合 
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