微光开关

作品数：6被引量：21H指数：2
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相关机构：上海交通大学中国工程物理研究院电子工程研究所江苏北方湖光光电有限公司华中科技大学更多>>
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氧化钒薄膜的制备及其光电特性研究被引量：14
《中国激光》2003年第12期1107-1110,共4页王宏臣 易新建 陈四海 黄光 李雄伟 
国家自然科学基金 (批准号 :6 0 10 6 0 0 3);华中科技大学研究生科技创新基金 (编号 :YCJ 0 2 0 0 3)资助项目
采用一种新工艺在Si和Si3 N4衬底上制备了性能优良的氧化钒薄膜 ,并对其微观结构和光电特性进行了研究。测试结果表明采用新工艺所制备的氧化钒薄膜在相变前后电阻率变化达到 3个数量级 ,红外透过率在相变前后改变达到 6 0 %。
关键词：薄膜技术 氧化钒薄膜 温度相变特性 光电特性 微光开关 
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