微光开关

作品数:6被引量:21H指数:2
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相关机构:上海交通大学中国工程物理研究院电子工程研究所江苏北方湖光光电有限公司华中科技大学更多>>
相关期刊:《传感技术学报》《光通信研究》《Journal of Semiconductors》《微细加工技术》更多>>
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光纤微光开关光能传输特性分析
《激光杂志》2007年第5期53-54,共2页赵兴海 高杨 程永生 
国防预研项目(51305070402)资助
为了明确光纤光开关的光能传输特性,指导光纤光开关的设计、制造,利用光学设计软件ZEAMX建立了光纤光开关的仿真模型,分析了光纤对准误差对光纤耦合效率和输出光斑能量分布的影响。得出的结论是:纵向距离对耦合效率的影响不大,横向偏移...
关键词:光纤光开关 传输特性 ZEMAX 仿真 
激光点火用微光开关的耦合特性仿真分析被引量:2
《传感技术学报》2006年第05A期1796-1799,共4页赵兴海 高杨 程永生 
国防预研项目资助(51305070402)
利用综合光学设计软件ZEMAX对激光点火用微光开关进行了光学建模和耦合特性的仿真分析.对两根光纤的纵向距离、横向偏移和角度倾斜三个耦合效率的影响因子进行了仿真分析.得到的结论是:纵向距离对耦合效率的影响不大,横向偏移和角度偏...
关键词:微光开关 激光点火 耦合效率 ZEMAX 仿真 
利用(110)硅片制作体硅微光开关的工艺研究被引量:5
《Journal of Semiconductors》2004年第1期99-103,共5页张龙 董玮 张歆东 刘彩霞 陈维友 徐宝琨 
国家高技术研究发展计划(批准号:2002 AA312023);国家自然科学基金(批准号:69937010);吉林省科学计划(批准号:20010319);跨世纪优秀人才培养计划基金资助项目
采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法,利用(110)硅片结晶学特性,通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺,在硅片上同时制作出微光开关的微反射镜结构、悬臂梁结构、扭臂梁结构和光纤定位槽结构,器件的一致性好,制作工艺简单.利...
关键词:微反射镜 {111}面 湿法腐蚀 粗糙度 氢氧化钾溶液 
氧化钒薄膜的制备及其光电特性研究被引量:14
《中国激光》2003年第12期1107-1110,共4页王宏臣 易新建 陈四海 黄光 李雄伟 
国家自然科学基金 (批准号 :6 0 10 6 0 0 3);华中科技大学研究生科技创新基金 (编号 :YCJ 0 2 0 0 3)资助项目
采用一种新工艺在Si和Si3 N4衬底上制备了性能优良的氧化钒薄膜 ,并对其微观结构和光电特性进行了研究。测试结果表明采用新工艺所制备的氧化钒薄膜在相变前后电阻率变化达到 3个数量级 ,红外透过率在相变前后改变达到 6 0 %。
关键词:薄膜技术 氧化钒薄膜 温度相变特性 光电特性 微光开关 
微光开关研究与发展现状
《光通信研究》2003年第2期53-57,共5页魏仁选 姜德生 周祖德 
光开关是光通信的关键部件 ,是近年来通信领域的研究热点 .文章介绍了微电子机械系统 ( MEMS)光开关的特点 ,从光开关的实现方式等方面分析了基于 MEMS的光开关的研究与生产现状 ,重点介绍了国外 MEMS光开关的研究与制作方法、应用水平 ...
关键词:光开关 光通信 微电子机械系统 MEMS 
微细加工技术在微光开关制造中的应用
《微细加工技术》2002年第1期71-75,共5页茅昕辉 陈丹晔 吴茂松 蔡炳初 
微光开关是新一代全光通信网络中的关键器件。利用微细加工技术制造微光开关具有很多突出的优点 ,受到广泛的研究。总结了几种典型的微光开关制造中运用的微细加工技术 。
关键词:微光开关 全光网络 微细加工技术 表面加工 体加工 制造 
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