微光开关

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微细加工技术在微光开关制造中的应用
《微细加工技术》2002年第1期71-75,共5页茅昕辉 陈丹晔 吴茂松 蔡炳初 
微光开关是新一代全光通信网络中的关键器件。利用微细加工技术制造微光开关具有很多突出的优点 ,受到广泛的研究。总结了几种典型的微光开关制造中运用的微细加工技术 。
关键词：微光开关 全光网络 微细加工技术 表面加工 体加工 制造 
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