微机械传感器

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集成微机械传感器的最新进展
《电子测试》2000年第3期190-193,共4页
微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力,现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功,显示这种想法的商业可行性。有趣的...
关键词：微机电系统 微机械传感器 集成电路 
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