微机械传感器

作品数：23被引量：50H指数：4
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微机械传感器的现状与发展被引量：11
《电子元器件应用》2003年第4期8-11,共4页朱长纯 韩建强 刘君华 
国家自然科学基金(60036016;50077016);教育部博士点基金(98069828)。
概述国内外目前已实现的微机械传感器,特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。
关键词：微机械传感器 微机电系统 微谐根式传感器 发展现状 工作原理 
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