微机械技术

作品数：79被引量：138H指数：7
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碳纳米管压阻微悬臂梁红外热探测器被引量：6
《光学精密工程》2008年第4期682-688,共7页梁晋涛 刘诗斌 刘君华 朱长纯 
国家自然科学基金资助项目(No.60276037)
研究了一种压阻复合层微机械悬臂梁红外探测器,建立了其热挠曲理论模型。为提高探测器的红外吸收特性,应用了一种新型红外吸收层材料—碳纳米管,利用IC工艺和微机械加工技术设计制作了一种硅/铝/碳纳米管三层微机械悬臂梁红外探测器。...
关键词：红外探测器 微悬臂梁 微机械技术 碳纳米管 
几种新型集成硅微（型）传感器系统
《光学精密工程》1996年第1期25-28,共4页温志渝 费龙 胡松 钟先信 
国家自然科学基金
介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺．
关键词：微机械技术 微型 传感器系统 集成光学 硅 
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