微机械结构

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新结构的硅一体化微加速度传感器
《电子学报》1994年第8期36-40,共5页王跃林 徐义刚 陈锋 胡鑫松 
国家重点自然科学基金;霍英东青年教师基金
本文介绍了一种新结构的硅一体化微加速度传感器，理论和实验结果表明，这种传感器与传统硅微机械结构加速度传感器相比具有温度特性好、工艺简单和成品率高等优点。这种结构特别适合制作谐振传感器。
关键词：硅 微机械结构 加速度 传感器 
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