微机械结构

作品数：26被引量：47H指数：4
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
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《传感器世界》2006年第9期45-46,共2页
关键词：MEMS传感器 数字图像测量 文本显示器 微机械结构 检测仪器 LCD 瞄准器 
智能结构被引量：1
《传感器世界》1997年第1期4-8,共5页F.Yalcinkaya E.T.Powner 
通过表面和体型微切削加工技术对智能结构作一全面综述,介绍了这些技术的优点和它们的过去,现在和将来的应用.
关键词：智能结构 微切削加工 硅 微机械结构 
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